판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7E #293665026

NIKON NSR 1505 G7E 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 반도체 제조의 비용을 줄이고 처리량을 향상시키기 위해 설계된 고급 석판화 도구입니다. 정렬, 사진 분석, 프로세스 도량형 어플리케이션을 위해 설계된 광학 이미징 장비입니다. 이 도구는 0.75의 유명한 고성능 NA (Numerical Aperture) 를 특징으로합니다. 이는 90nm까지 해상도로 업계에서 가장 높은 수치입니다. 이 시스템은 레지스트리 크리티컬 응용 프로그램의 까다로운 레티클 (reticle) 정렬 및 오버레이 정확도 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. NIKON NSR-1505G7E Wafer Stepper의 고급 설계는 일관된 광학 이미징 성능과 전반적인 정확도를 제공합니다. 이 장치는 고속 스테핑 및 중심 기능을 갖춘 직접 드라이브, 저관성 스캐너, 회전 가능한 프레임 미러, catadioptric 렌즈 및 고효율 excimer 레이저로 구성된 광학 머신을 사용하여 긴 성능 수명, 높은 균일성, 낮은 정렬 등록 오류. NIKON 1505 G7E Wafer Stepper는 최소 칩 높이 변화를 보장하기 위해 완전히 자동화 된 DOF와 높은 정확도의 등록 도구를 갖추고 있습니다. 패턴 수축 문제를 해결하기 위해 SEMI 표준화 된 렌즈 코팅 자산도 포함됩니다. 이 모델에는 조사에서 잠재적 인 비 통일성을 감지하고 수정하기위한 내장 장비 테스트 모드가 포함되어 있습니다. 또한 최고 정확도의 정렬 및 이미징을 제공하는 최첨단 고속 미러 드라이브 시스템을 갖추고 있습니다. NSR-1505 G7E 웨이퍼 스테퍼는 45도, 90도, 180도, 기울기/기울기/회전 대칭 및 육각형/정사각형 반전을 포함한 여러 이미지 형식과 호환됩니다. 또한 기본 제공되는 패턴 편집기 (pattern editor) 를 통해 사용자가 정밀 패턴화 및 이미징을 위한 사용자 정의 디자인을 만들 수 있습니다. 이 장치에는 사용자 정의 사이트의 Focus Sensitivity를 측정하는 효율적인 Focus-Check Processor가 포함되어 있습니다. 또한, 이 도구에는 필드 왜곡 및/또는 비균일성을 제어하기 위한 혁신적인 열 관리 머신 (Thermal Management Machine) 이 장착되어 있습니다. NSR-1505G7E Wafer Stepper는 사용하기 쉬운 고성능 이미징 툴로서, 리소그래피 프로세스를 단순화하고 정확성을 향상시킵니다. 이 자산은 석영, 실리콘, 이산화규소, 갈륨 비소 등을 포함한 광범위한 기질과 함께 작동하도록 설계되었습니다. 또한, 이 모델은 거의 모든 process line 개념 (process line concept) 과 완벽하게 호환되며 프로세스 및 프로세스 모듈의 특정 요구 사항에 맞게 완벽하게 사용자 정의할 수 있습니다.