판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7E #293637485

NIKON NSR 1505 G7E는 정밀 반도체 장치를 제조하는 데 사용되는 전문적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼 (stepper) 는 회로 부품을 손상시키지 않고 재료의 가장 작은 구조를 패턴화할 수 있습니다. 원래 스텝 해상도는 ± (5 µm) 이고 오버레이 정확도는 ± (2.5 µm) 로 최대 150mm 직경의 웨이퍼에 매우 정확한 패턴을 생성 할 수 있습니다. NIKON NSR-1505G7E는 2 개의 86mm 열을 하나의 더 크고 견고한 구조로 결합한 독특한 이중 열 설계를 사용합니다. 이 열 배열은 패턴화 프로세스의 각 단계가 더 안정적이고, 정확하며, 변형되지 않도록 합니다. "스테퍼 '는 또한 여러 가지 두께 의 기판 에 대한 정확 한" 패턴' 을 제공 하는 "레이저 '펄스' 보정 장치 를 개량 하였다. NSR-1505 G7E는 최대 8 메가픽셀 이미징을 지원하는 고해상도 스캔 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 각 웨이퍼에 최대 120,000 패턴/mm (제곱 피치) 의 매우 높은 픽셀 해상도를 제공합니다. 이 스캐닝 머신은 개선 된 2 차원 스테이지 스캐너 (stage scanner) 와 결합되어 뛰어난 동작 성능을 제공하고 맥동 불규칙성을 줄입니다. NIKON NSR-1505 G7E의 레티클 스캐너는 자동 위치 인식 및 향상된 분할 미러 자동 추적 도구를 사용합니다. 이 두 피쳐의 조합은 웨이퍼 서피스에서 빠르고 정확한 정렬 측정을 제공합니다. 고급 웨이퍼 로더 (wafer loader) 에셋은 빈번한 웨이퍼 변경 사항을 쉽게 공급 및 관리할 수 있습니다. NSR 1505 G7E는 또한 여러 가지 고급 프로세스 컨트롤을 제공합니다. 노출 용량, 웨이퍼 스테이지 온도, 습도, 작동 온도 등을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 초점과 빔 기울기 (beam tilt) 를 제어하여 패턴 처리 과정을 더욱 정확하고 신뢰할 수 있습니다. NSR-1505G7E 는 까다로운 처리량이 많은 반도체 운영 환경에 적합한 솔루션입니다. 고급 (advanced) 프로세스를 안정적이고 정확하게 처리할 수 있으므로 최상위 (top) 수준의 성능이 필요한 모든 작업에 유용하게 추가할 수 있습니다.