판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7E #293636234

NIKON NSR 1505 G7E
ID: 293636234
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR 1505 G7E 웨이퍼 스테퍼는 대규모 프로젝션 노출 기능을 갖춘 고급 석판화 장비입니다. 컴팩트 한 크기로 안정적이고 신속하게 다양한 레이어 프로세스를 제공합니다. NIKON NSR-1505G7E 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 의 유연한 설계를 통해 반도체 장치 및 기타 전자 부품의 제작에서 정확한 패턴화 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. NSR-1505 G7E 는 디바이스 패턴을 정확하고 반복 가능하게 해주는 다양한 고급 기능을 제공합니다. 이 시스템은 NSR 1505 G7E 스테핑 모터 (G7E Stepping Motor) 와 5 축 모션 컨트롤 모듈 (5 축) 로 구동되어 정밀한 고속 스캐닝을 수행할 수 있습니다. "스테퍼 '의 정밀도 는 여러 가지" 렌즈' 설계 와 여러 가지 노출 "파라미터 '를 수용 할 수 있는 고급 모터" 컨트롤러' 로 더욱 증강 된다. 이 기계는 고정밀 오버레이 정렬 및 마스크 정렬을 허용합니다. 구성에 따라 0.15 및 0.12 미크론 해상도를 모두 갖습니다. 또한 NIKON NSR-1505 G7E 웨이퍼 스테퍼에는 8 인치 웨이퍼 노출 영역이 있으며 샘플 로딩 속도는 최대 2 분입니다. 다양한 조명 각도 (Lightimation Angle) 및 레이저 크로스파이어 스캐닝 (Crossfire Scanning) 기능을 통해 노출 지역에 도달하기 어려운 애플리케이션의 유연성을 더욱 높일 수 있습니다. NSR-1505G7E에는 FUJINON Endura SNM-100k 확대 렌즈가 장착되어 있어, 폭넓은 노출 범위와 해상도를 제공합니다. 또한 최대 8 인치 웨이퍼 노출 영역이있는 대용량 웨이퍼 처리 도구를 제공합니다. 에셋은 또한 다양한 분석 도구 (analysis tool) 옵션을 지원하여 노출 장비 (exposure equipment) 와 노출 효과 (exposure effects) 를 검사하는 효과적인 방법을 제공합니다. NIKON NSR 1505 G7E 웨이퍼 스테퍼는 프로세스 속도 향상 및 작업 단순화를 위해 설계되었습니다. 광 설계는 정확한 모니터링 및 제어 모델을 허용하여 빠르고 정확한 노출 매개변수를 허용합니다. 전반적으로 NIKON NSR-1505G7E는 컴팩트하면서도 강력한 석판화 장비로, 다양한 디바이스 구성 프로세스에 대한 정확한 패턴을 제공합니다.
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