판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7E #293592861

ID: 293592861
Stepper, parts machine.
NIKON NSR 1505 G7E는 4 인치 및 8 인치 웨이퍼 스캔 필드와 완전히 통합 된 고급 성능, 듀얼 빔, 풀 필드 스테퍼입니다. 이 NIKON 장비는 특히 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼 솔루션입니다. NIKON NSR-1505G7E는 고급 석판 기술 세계에 여러 가지 기술적 발전을 소개합니다. 고급 나놀리토 그래피 (nanolithography) 구성 요소가 포함되어 있으며 높은 노출 정확도와 더 넓은 프로세스 창을 위해 높은 수치 조리개 (NA) 광학을 사용합니다. 높은 배율과 광범위한 프로세스 윈도우 (process window) 에도 높은 해상도와 노출 정확도를 제공합니다. NSR-1505 G7E의 고성능 노출 광학에는 고급 광학 시스템, elastomeric 광학 요소 및 high-NA 프로젝션 렌즈가 포함됩니다. 고급 광 장치 (Optical Unit) 는 넓은 노출 분야에서 안정적으로 고정된 고정밀 이미징을 제공합니다. 고급 광학 머신 (Advanced Optical Machine) 은 대형 노출 분야에 대해 높은 정렬 정확도와 높은 리소그래피 노출 정확도를 달성하도록 설계되었습니다. NSR 1505 G7E는 리토그래피 레티클을 빠르고 정확하게 정렬 할 수있는 SWAS (Single Wafer Alignment Tool) 를 갖추고 있습니다. SWAS 는 고급 인라인 (in-line) 센서와 옵틱을 사용하여 기계적 이동 없이 노출 필드의 정렬을 빠르고 정확하게 측정합니다. 이 자산을 사용하면 노출 토폴로지 및 노출 레이아웃으로 고해상도 공중 (high-resolution) 이미지를 통합 할 수 있습니다. NSR-1505G7E는 또한 직경이 큰 웨이퍼 스테이지를 갖추고 있으며, 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 모델에는 고급 웨이퍼 처리 장치 (Advanced Wafer Handling Mechanism) 가 있어 운영 자동화에 대한 낮은 오버헤드를 제공하여 정확하고 정확한 단계 이동이 가능합니다. 고유하게 NIKON NSR-1505 G7E는 고속 리소그래피 (lithography) 제작을 통해 높은 처리량을 제공하는 높은 생산성 모드를 제공합니다. 저전력 소비 모드 (low-power consumption mode) 도 제공하여 높은 처리량을 내면서 낮은 전력 수준에서 작동할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR 1505 G7E는 고급 내장 안전 기능 및 자동 웨이퍼 처리를 제공하여 효율적인 리소그래피 제작을 지원합니다. 위치 허용 쓰기 패턴을 통해 NIKON NSR-1505G7E는 높은 PWD (Process Window Discrimination) 품질 레벨로 고급 패턴 모양을 만들 수 있습니다. 또한 정확도가 높은 고밀도 PSA (Pulse Shaping Architecture) 가 특징입니다. 마지막으로, NSR-1505 G7E에는 고급 리소그래피 프로세스 시퀀스 편집기 및 SDK (specialized related software development kit) 를 포함한 수많은 호환 액세서리가 있습니다. 결론적으로 NSR 1505 G7E는 고급 및 고가용성 웨이퍼 스테퍼 솔루션입니다. 고급 나놀리토 그래피 구성 요소, 고해상도 옵틱, 고해상도 이미징, 대구경 웨이퍼 스테이지, SWAS 정렬 장비, 고속 리소그래피 생산 모드, 저전력 소비, 고급 안전 기능 및 특화된 SDK가 특징입니다. 이러한 요소의 조합으로 NSR-1505G7E는 우수하고 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼 솔루션이 됩니다.
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