판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7E #293589147

NIKON NSR 1505 G7E는 높은 처리량과 높은 충실도 리소그래피를 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 마이크로 사이즈 및 나노 사이즈 마이크로 칩의 생산을 위해 설계되었습니다. 기계의 광원은 높은 수준의 노출 강도를 제공하는 레이저 다이오드 어레이 (laser-diode array) 입니다. 노출 면적은 121mm x 121mm이며 초점 깊이는 0.75m입니다. 기계의 엔진은 고유한 서보 제어 동작 장비로, 부드럽고 정밀한 동작을 제공합니다. 광학 시스템은이 서보 제어 모션 유닛으로 구동되며 2 렌즈 머신으로 구성되며, 숫자 조리개 (NA) 는 0.6, 작동 거리는 3.6mm입니다. 이 툴은 성능을 지속적으로 모니터링하고 최적화하여 최고 (A) 의 정확도를 보장합니다. NIKON NSR-1505G7E는 또한 X 및 Y축에서 120mm의 대형 이동 범위와 최대 200mm/sec의 이동 속도를 가진 스테이지 에셋을 갖추고 있습니다. 이 단계 모델은 열역학적 안정성을 위해 설계되었으며 공기 난기류를 제한합니다. 이 기계는 빠르고 정확한 초점 설정을 위해 MAF (Manual Auto Focus) 장비를 제공합니다. 이 "시스템 '은 긴 수명 을 가지고 있으며, 표면 의 평평 함 을 감지 할 수 있어서" 웨이퍼' 를 가로지르는 부드러운 이동 을 할 수 있다. 또한 이 시스템에는 대용량 로더/언로더 (Unloader) 장치가 포함되어 있어 하나의 작업에서 사용자가 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있으므로 처리량이 더 빠릅니다. NSR-1505 G7E에는 대용량 웨이퍼 카세트도 포함되어 있습니다. wafer key-in 및 fast wafer 슬롯 로딩을 허용하기 위해 wafer ID 관리 시스템과 연결됩니다. 전반적으로 NSR 1505 G7E 는 높은 처리량 및 고화질 리소그래피 (lithography) 용으로, 빠른 로드/언로드 프로세스, 하이엔드 옵틱 및 모션 시스템, 긴 수명 등을 제공합니다. 나노 (nano) 와 마이크로 (micro) 칩 생산에 완벽한 선택이다.