판매용 중고 NIKON NSR 1505 G7A #9160455

NIKON NSR 1505 G7A 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 반도체 및 기타 전자 부품 용 포토 마스크 기판 생산에 사용되는 고급 이미징 도구입니다. 이 도구는 DUV (Deep Ultraviolet) 파장광을 사용하여 기판의 비문에 대한 패턴을 정확하고 일관되게 정의하는 고정밀 광학 이미징 장비를 제공합니다. NSR 1505 G7A의 최대 이미지 필드는 150mm x 150mm이며, 축 대칭 숫자 조리개 (NA) 가 0.68인 Vycor 강화 광학 시스템을 갖추고 있습니다. 이 고성능 장치를 사용하면 최대화된 시야를 위해 최대 6개의 투사 렌즈 (projection lense) 를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR 1505 G7A는 Deep Ultraviolet 파장 248nm로 최대 해상도 (0.096 마일) 를 생성 할 수 있습니다. NSR 1505 G7A의 주요 특징은 DoF 엔지니어링, 계단 유리 줌 렌즈 및 QV 반도체 재료입니다. DoF 엔지니어링은 가우시안 강도 분포가 0.2 um ~ 40 um 인 균질한 심도 (depth-of-field) 를 제공하는 반면, 계단 유리 줌 렌즈는 여러 배율에서 왜곡을 줄이고 기능을 정확하게 볼 수 있습니다. QV 반도체 재료는 접착력이 좋고 장기적인 안정성으로 안정적인 에치 및 증착 성능을 갖습니다. 이 도구는 노출 중에 이미지 필드가 최소화되도록 TP-IFS (Three Plate Image Field Stabilization) 플랫폼을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 생성된 패턴이 각 노출과 동일한지 확인할 수 있습니다. NIKON NSR 1505 G7A에는 사전 처리 된 기판을 정확하게 정렬 할 수있는 통합 웨이퍼 레벨 정렬 장치 (wafer-level alignment machine) 와 반복 가능한 웨이퍼 중심 및 생산성 향상을 제공하는 진공 슬라이드 필름 단계 (vacuum slide film stage) 도 있습니다. 이 도구에는 노출 된 웨이퍼에 마스크를 정확하게 등록하는 자동 레이저 마커 (automatic laser-marker) 가 포함되어 있습니다. 또한, 이 도구는 최대 8 개의 작업 설정을 실행하고 하나의 샷에 여러 개의 칩을 노출시킬 수 있는 고성능 노출 제어 (Exposure Control) 자산을 갖추고 있습니다. 마지막으로 NSR 1505 G7A Wafer Stepper 는 최대 50 개의 디스크를 캡처하고 자동으로 검사를 수행하는 지능형 Flex-Disk Handler 와 통합됩니다. 이를 통해 대량 생산에 최적의 품질과 성능을 얻을 수 있습니다.