판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9389190
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ID: 9389190
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1989
Stepper, 6", parts machine
Hard Disk Drive (HDD)
Left controller rack
Wafer stage: Flat, 4"
Ball wafer stage screw
LSA Wafer alignment
Single point auto focus
ASAHI S71 Chamber
Controller temperature
Chamber size: 1500
Missing parts
Wafer loader, 4":
Type 1
Flate type
Left cassette
Reticle, 5":
Reticle microscope: 15 mm
Reticle loader: Normal
1989 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E는 최첨단 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 업계에서 가장 까다로운 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 스테퍼는 최신 NIKON 최첨단 리소그래피 (lithography) 장비로, 최고 수준의 정확성과 성능을 제공합니다. NIKON NSR-1505G6E는 3 단계 정렬 장비와 고급 노출 제어 기술을 갖춘 고급 올인원 웨이퍼 스테퍼로, 정확도가 높은 웨이퍼 로딩 및 정확한 리소그래피 노출이 가능합니다. NSR 1505 G6E 의 통합형 고급 노출 제어 시스템 (Advanced Exposure Control System) 은 정확한 에지 위치와 노출 제어를 통해 높은 처리량을 보장합니다. 노출 제어 장치 (Exposure Control Unit) 는 최신 노출 시뮬레이션 기술을 활용하여 스테핑 정확도와 정확도를 결합하여 균일 한 용량 분포 및 노출 정확도를 제공합니다. 이 스테퍼는 또한 고속 프로그램 다운로드 머신 (download machine) 을 갖추고 있어 빠르고 효율적인 프로그램 교환이 가능합니다. 또한 NSR-1505G6E 는 광범위한 프로세스 관리 소프트웨어와 호환되며 플러그 앤 플레이 (Plug & Play) 접속 인터페이스를 제공합니다. 따라서 모든 플랫폼을 통해 시스템 작동을 제어, 모니터링, 유지 관리할 수 있으므로 원격 문제 해결 및 유지 보수 (maintenance) 를 수행할 수 있습니다. NIKON NSR 1505 G6E는 높은 수준의 효율성, 정확성, 반복성 및 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 장비의 고급 디자인은 리소그래피 머신 (lithography machine) 에 대한 마모와 눈물이 적고 안정성이 향상되었습니다. NIKON NSR-1505G6E 는 다양한 크기와 모양으로 광범위한 재료를 처리할 수 있는 한편, 프로세스 전반에 걸쳐 높은 수준의 정확도를 유지해 드립니다. NSR 1505 G6E는 반도체 제조 산업에 이상적인 솔루션입니다. 고급 디자인, 고효율 기술, 다양한 기능을 통해 안정적이고 효율적인 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 가 됩니다. 이 기계는 웨이퍼를 3 차원으로 정확하게 정렬 할 수 있으므로 정확도가 높은 리소그래피 노출이 가능합니다. NSR-1505G6E 는 고급 노출 제어 툴 (Exposure Control Tool) 과 고속 프로그램 다운로드 자산으로 인해 처리량이 향상되고 웨이퍼당 비용이 절감됩니다.
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