판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9233490

NIKON NSR 1505 G6E는 반도체 대량 생산에 사용되는 고성능 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 최대 532mm x 603mm의 이미지 필드 크기에서 4 배의 감소 비율로 최대 8 인치 크기의 웨이퍼를 이미징 할 수 있습니다. 이 스테퍼에는 깊은 UV 머큐리 램프 (Mercury lamp) 가 장착되어 있으며, HeNe 레이저 기반 정렬 시스템을 사용하여 웨이퍼 표면에 균일 한 조명이 가능합니다. 또한 0.5 mm 또는 0.25 jm 해상도의 고급 광학 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계에는 이미징 프로세스 동안 안전하게 웨이퍼를 클램핑하기위한 ElectroStatic Chuck (ESC) 과 SSLE (Step and Scan Longer Exposure) 기능이 있으며, 이는 웨이퍼 전체 표면에 균일 한 광 노출이 가능합니다. NIKON NSR-1505G6E는 또한 많은 수의 웨이퍼를 이미징하는 데 매우 효율적이고 생산적으로 설계되었습니다. 이 도구에는 웨이퍼 캐리어, 로봇 암, 컨베이어 벨트 (Conveyor Belt) 를 사용하여 측정 스테이션, 로드/언로드 스테이션, 이미징 스테이션 간에 웨이퍼를 빠르게 이동하는 자동 웨이퍼 처리 에셋이 있습니다. 또한, 스테퍼 (stepper) 에는 레시피 관리 모델 (recipe management model) 이 포함되어 있어 사용자는 각 개별 웨이퍼에 대한 프로세스 설정을 빠르게 조정하여 각 이미징 프로세스에 대한 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장비에는 설치 시간을 최소화하면서 매우 정확한 이미징을 가능하게 하는 자동 교정 (auto-calibration) 기능도 내장되어 있습니다. NSR 1505 G6E는 석판화 (lithography) 와 같은 반도체 제조 프로세스에 대한 까다로운 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 또한 MTBF (mean time between failures) 등급이 500,000 시간 이상인 안정성이 향상되도록 설계되었습니다. NSR-1505G6E는 SEMI E-53 및 GEM (Global Equipment Monitoring) 표준을 준수합니다. 즉, 필요한 모든 데이터는 최소한의 노력으로 시스템에서 쉽게 액세스할 수 있습니다. 마지막으로, 이 스테퍼 유닛은 EU RoHS 규정을 준수합니다. 즉, 환경에 최소한의 영향을 미치는 것으로 인증되었습니다.