판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9209620
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판매
ID: 9209620
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1988
Stepper, 4"
Main computer:
System: PDP
Hard disk
Disk drive: Floppy
Illumination type:
Shrinc type: Conversion
Revolver type: Conversion
Wafer stage:
Chuck type: 4" Pin
Screw type: Ball
Reticle alignment: ISS
Reticle microscope: 15 mm
Wafer alignment: WGA, LSA
Auto focus: Single
Wafer loader:
Wafer size: 4"
Loader type: Type1
OF Type: Flat
Flat zone: 6C
In-line: No
Cassette: Left, Right
Control rack position: Right
PPD1: No
Barcode system: No
Chamber type: ASAHI S71
1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E는 일본 제조업체 NIKON이 만든 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. "스테퍼 '는 여러 가지 반도체 부품 및 기타 장치 의 대량 생산 을 위한" 웨이퍼' 를 정확 하게 처리 하도록 설계 되었다. NIKON NSR-1505G6E는 NIKON SHMR (Sub-Half Micron Resolution Technology) 을 사용합니다. 이 기술을 사용하면 임계 치수가 0.3 ½ m 정도 작은 기능을 처리 할 수 있습니다. NSR 1505 G6E는 매우 정확한 오버레이 및 원형성 반복성을 달성하며, 다른 단계에서 오버레이 오류를 최소화하는 자동 초점 장비 및 2 단계 레이저 노출 시스템을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 가장 작고, 가장 섬세한 피쳐가 정확하게 인쇄되고 정렬됩니다. 또한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 환경 요인으로 인해 이미지의 모든 이동에 자동으로 조정되는 이미지 수정 장치 (image correction unit) 가 포함되어 있습니다. NSR-1505G6E는 시간당 100 대 이상의 장치를 처리 할 수 있으며 최대 6 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 고정밀 스테이지, 4 축 고정밀 모터 및 다양한 생산 환경에서 안정적이고 정확한 작동을 가능하게하는 내부 PLC 머신이 장착되어 있습니다. NIKON NSR 1505 G6E는 라인, 대각, 다이 마킹 등 다양한 패턴을 처리 할 수 있습니다. 또한 투명 유전체 필름, 나노 이미지, 공기 구멍 트렌치 패턴과 같은 복잡한 광학 특성을 처리 할 수 있습니다. 이 스테퍼에는 비정상적인 상황으로부터 자동 복구 (automatic recovery) 가 가능한 복구 도구 (recovery tool) 와 깨끗하고 안전한 생산 프로세스를 보장하는 먼지 수집 자산 (dust collection asset) 을 포함하여 수많은 안전 기능이 있습니다. NIKON NSR-1505G6E는 웨이퍼를 처리 할 때 정확하고 정확한 작업을 제공하도록 설계된 견고하고 안정적인 스테퍼입니다. SHMR 기술은 최첨단 반도체 생산에 높은 정확성과 유연성을 제공하여 안정적이고 효율적인 생산 프로세스를 제공합니다.
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