판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9207086

NIKON NSR 1505 G6E 웨이퍼 스테퍼는 반도체 석판화를위한 고도의 고급 스테퍼입니다. 이 장비는 200mm 웨이퍼용으로 설계되었으며 고유 회절 제한 Optics 및 특허를받은 Immersion 기술을 통합했습니다. Optics에는 멀티 빔 스캐닝 (Multi Beam Scanning) 기술이 있습니다. 즉, 여러 레이저 빔이 동시에 사용되어 이미지 해상도와 정확도가 우수합니다. 침수 (Immersion) 기술은 렌즈와 웨이퍼 사이에 액체 침수 매체를 적용하여 정확도를 높이고 광학 수차를 줄입니다. 이 스테퍼는 또한 듀얼 빔 마스크 알리그너 (dual beam mask aligner) 를 특징으로하며, 2 개의 빔을 결합하여 웨이퍼에 마스크를 정확하게 노출하고, 동급 최고의 에지 배치 정확도와 용량 균일성을 제공합니다. NIKON NSR-1505G6E 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 의 고급 단계 설계로 더 큰 기판 크기를 보다 정확하게 사용할 수 있습니다. 크고 고급 웨이퍼 스테이지는 600 x 600mm의 XY 작업 영역과 최적의 안정성과 정확성을 위해 부드럽고 제어 된 동작을 제공합니다. 또한 고성능 웨이퍼 보호 장치 (Wafer Protection Device) 를 갖춘 대형 작업 봉투가 있으므로 부적절한 처리로 인해 원치 않는 마스크 또는 웨이퍼 파손이 발생하지 않습니다. NSR 1505 G6E 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 강력한 웨이퍼 스캐닝 기능을 제공하여 최대 1200 웨이퍼/시간의 처리 속도를 달성합니다. 또한 "웨이퍼 '" 마스크' 를 노출 시키면서 즉시 노출 "데이터 '를 쓰는 것 과 같은 여러 가지 작업 을 한 주기 에 처리 할 수 있다. 이 시스템은 또한 품질 제어 장치 (Quality Control Unit) 를 통합하여 웨이퍼 정렬 및 등록을 모니터링하고 자동화된 프로덕션 실행 중에 웨이퍼-웨이퍼 (Wafer-to-Wafer) 의 노출 지점을 자동으로 관리합니다. 안전성 측면에서 NSR-1505G6E 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 안전 셔터를 장착하여 비정상적인 작동 시 스테퍼가 손상되지 않도록 보호합니다. 또한 인간 인터페이스 회로 차단기 (human interface circuit breaker) 가 특징이며, 전기 과부하 시 전력을 줄입니다. 이것 은 지나친 방사선 노출 의 위험 으로부터 광학 "장비 '를 지키는 자동화 된 보호기 에 의하여 보완 된다. 전반적으로 NIKON NSR 1505 G6E 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 신뢰할 수 있는 고성능 석판 공구로, 다양한 고급 기능과 안전 보호 기능이 통합되어 반도체 처리에 이상적인 제품입니다.