판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9206224

NIKON NSR 1505 G6E는 높은 정밀도의 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 로 까다로운 리소그래피 어플리케이션을 위한 안정적인 생산성과 고성능 조정을 제공합니다. 6 인치 웨이퍼 스캔 기능을 갖춘 NIKON NSR-1505G6E는 탁월한 정확성과 처리량을 제공합니다. 스테퍼의 혁신적인 Dual-Power High-Voltage 앰프 장비는 고급 GFS (Gunning Focussing System) 와 연동하여 다양한 특수 렌즈로 뛰어난 이미징 일관성을 제공합니다. NSR 1505 G6E 는 하위 "미크론 '수준으로 기능을 정확하게 정렬하기 위한 통합 동기식 이미징 유닛을 갖추고 있습니다. 이 기계는 여분의 "렌즈 '없이도 레이아웃 (layout) 과 게이트 패턴 (gate pattern) 에 필요한 모든 매개변수를 정확하게 스캔하고 이미지로 만들 수 있다. 이는 프로세스의 효율성과 정확성을 크게 높이고, 전반적인 설계 프로세스를 단순화합니다. 이 스테퍼는 특허 받은 CNA 드라이브 도구 (CNA Drive Tool) 를 기반으로 전체 웨이퍼를 빠르고 정확하게 정렬합니다. 이 자산은 사용자 친화적으로 설계되었으며, 프로세스 모니터링을 개선할 수 있습니다. 또한 NSR-1505G6E는 다크 필드 도량형 (dark field metrology), 인사이트 렌즈 코팅 (in-situ lens coating), 온라인 수정 기능 등 다양한 프로세스 사용자 정의 옵션이 제공되면서 유연성이 향상되었습니다. NIKON NSR 1505 G6E는 고급 Clean Scan 기능으로 향상된 성능을 제공합니다. 이 "모델 '은" 웨이퍼' 가 다른 시간 에 "웨이퍼 '를 주사 하고 주사 과정 중 에" 웨이퍼' 와 접촉 할 수 있는 불량 먼지 입자 를 걸러내기 때문 에 "웨이퍼 '를 빛 오염 에 노출 시키도록 설계 되었다. 이로써, 정렬 과정에서 먼지 입자 (dust particle) 가 웨이퍼 (wafer) 로 향하는 결함의 위험이 크게 감소합니다. NIKON NSR-1505G6E는 또한 상세한 프로세스 기록을 기록하는 고급 품질 모니터를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 여러 실행에 걸쳐 자세한 성능 정보를 모니터링할 수 있습니다. 이것은 스테퍼의 다이 투 다이 (die-to-die) 최적화 기능 외에도, 일련의 웨이퍼 (wafer) 에 대한 리소그래피 프로세스의 성능과 정확성을 향상시키는 데 사용될 수 있습니다. NSR 1505 G6E 는 까다로운 석판화 (lithography) 애플리케이션을 위한 높은 정밀도와 처리량을 제공하도록 설계된, 고효율의 고급 Wafer Stepper 입니다. 다양한 기능과 옵션을 통해 매우 정교한 프로세스에 적합하지만, 고성능 (HPA) 조정 기능과 동기식 (Synchronous) 이미징 장비는 어떠한 애플리케이션에서도 안정적이고 정확한 선택이 가능합니다.