판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9195756

NIKON NSR 1505 G6E Wafer Stepper는 업계 최고의 성능 기능과 고급 프로세스 제어 기능을 갖춘 고급 석판화 장비입니다. 이 시스템은 최소 125nm (line-width) 기능과 초점 깊이 (depth-of-focus) 를 갖춘 전체적인 우수한 석판화 경험을 제공하며 복잡한 기판의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치는 초고속 (Ultra-High) 종횡비 (Aspect Ratio) 와 대면적 (Large Area) 기판을 포함한 광범위한 유연한 기판으로 작동하여 다양한 크기의 입자가 노출 과정을 방해하지 않도록 설계되었습니다. 이 기계는 이미지 왜곡과 필드 평탄도를 개선하기 위해 2 개의 통합 필드 렌즈 (field lense) 를 갖추고 있으며, 이미지 품질과 해상도를 효과적으로 향상시킵니다. 이 도구는 높은 정확성과 반복성을 위해 설계된 고급 자동 초점 (Advanced Autofocus) 메커니즘을 통해 뛰어난 오버레이 기능을 제공합니다. 고급 패턴 일치 (pattern matching) 기술은 정확한 데이터 입수를 보장하며 균일성과 패턴 배치 정확성을 제공합니다. 또한, 에셋은 또한 향상된 백플레이트 포지셔닝 모델을 특징으로하며, 이는 잘못된 정렬을 줄이고 노출 중 기판 홀더 설정의 정확도를 향상시킵니다. 이 장비에는 직관적이고, 사용자 친화적인 자동 작업 편집기 (Automated Job Editor) 가 장착되어 있어 사용자 성능과 반복 기능을 일관되게 보장합니다. 또한이 플랫폼에는 통합 광학 HDX 스캐너가 있어 정확한 레티클 특성화가 가능합니다. 또한, 이 시스템에는 고급 OPC 기능이 있어 photomask 및 패턴의 정확도가 뛰어납니다. 이 장치는 사이클링 시간 (cycling time) 을 줄이기 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 기술로 처리량을 향상시킵니다. 이 기계의 고해상도 (High Throughput) 기능은 뛰어난 해상도 (Superior Resolution) 기능과 결합하여 빠른 처리량과 높은 처리량을 지원하므로 뛰어난 석판화 결과를 얻을 수 있습니다. NIKON NSR-1505G6E는 고급 안정성과 프로세스 안정성을 위해 설계되었습니다. 이 툴의 모듈식 전원 효율적인 설계는 운영 중 유지 보수 요구 사항이 매우 낮습니다. 또한, 자산 (asset) 은 포괄적인 데이터 수집 기능을 제공하여 광범위한 애플리케이션에 적합합니다. 글로벌 지원 (Global Support) 은 NIKON에서 제공하므로 모델을 운영 프로세스에 완벽하게 통합할 수 있습니다.