판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #9160454

NIKON NSR 1505 G6E는 제조업체가 비용 절감 조치를 취하고 전반적인 생산성을 향상시킬 수 있도록 설계된 고성능, 반자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 신뢰성이 높고, 비용 효율적이며, 사용자 친화적인 설계로 반도체 업계에서 상당한 비용 절감, 생산성 최적화를 실현합니다. 이 시스템은 웨이퍼 처리 (Wafer Processing) 기능과 전원 모듈을 관리하는 기본 장치로 구성되어 있습니다. 주 장치에는 회전 척 (rotating chuck) 과 미세 위치 (Z축) 유형 단계, 광 모듈 (optical module) 및 스테퍼 헤드 (stepper head) 를 포함하여 총 5 개의 축이 장착되어 있습니다. 광학 모듈에는 수은 램프와 MZU (Mirrored Zoom Unit) 가 있으며, 이를 통해 고정밀 이미징 및 검사가 가능합니다. 스테퍼는 photolithography, electron beam lithography, gravure etching, laser etching, dry etching 및 ion etching과 같은 광범위한 웨이퍼 처리 기능을 수행 할 수 있습니다. NIKON NSR-1505G6E 장치는 낮은 TCO (총소유비용) 와 함께 고속, 매우 정밀한 처리를 지원합니다. 이 기계는 고급 제어 소프트웨어 (Advanced Control Software) 를 갖추고 있으며, 사용 편의성과 Wafer 처리 어플리케이션 측면에서 다용성을 제공합니다. 또한 이 도구는 NIKON과 잘 알려진 Scanning Prober 및 Wafer Metrology Technological 플랫폼 (SP 200 및 NMX) 과 통합되어 자동 웨이퍼 맵 생성 기능을 제공합니다. NSR 1505 G6E는 최소 스팟 크기가 10äm, 높은 공차 정확도가 0.5äm 인 우수한 사진 리토그래피 결과를 달성하여 최적의 수율 최적화를 보장합니다. 에셋은 또한 최적화 된 척 베이스 (chuck base) 및 웨이퍼 처리 기능을 제공하여 빠른 정렬 및 레티클 교환을 가능하게합니다. 또한이 모델은 정확한 온도 조절을 위해 이중 기능 "콜드 플레이트 및 웨이퍼 온도 조절 (cold plate and wafer temperon control)" 기능으로 설계되었으며, 생산 수율 및 안정성을 최적화합니다. 이 장비는 또한 편리한 확장성을 제공하도록 설계되어 비용 효율적인 (cost-effective) 솔루션으로 라인 생산성을 손쉽게 확장할 수 있습니다. NIKON NSR 1505 G6 는 여러 가지 구성으로 제공되며, 다양한 부품과 구성요소를 특정 고객 요구에 맞게 수정할 수 있습니다. 전반적으로 NSR-1505G6E는 직관적이고, 다양하며, 신뢰성이 뛰어난 시스템으로, 저렴한 비용으로 고정밀 웨이퍼 처리를 지원합니다. '강력한 성능' 과 '성능' 을 갖춘 이 장치는 비용을 절감하고 운영 결과를 개선하려는 제조업체에 적합합니다.