판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #293717119

NIKON NSR 1505 G6E는 마스크 없는 리소그래피 작업 내에서 광석판 패턴에 사용되는 고정밀 5 축 웨이퍼 스테퍼입니다. x, y, z, z 및 회전 축 컨트롤이 제공되며, 중요한 웨이퍼 레벨 장치 작업에 대한 뛰어난 단계 및 반복 정확도를 제공합니다. 또한 고해상도 패턴화 (high-resolution patterning) 를 필요로 하는 어플리케이션을 위해 주변 장치 영역 (peripheral region) 을 포함하여 전체 이미징 분야에서 높은 균일성을 제공하는 독특한 미러 스캐닝 시스템을 갖추고 있습니다. 내부적으로 이 시스템은 광학, 이미징, 모션 컨트롤, PC를 결합한 올인원 (All-in-One) 아키텍처를 기반으로 하여 별도의 제어 구성 요소를 추가할 필요가 없습니다. 이렇게 하면 필요한 공간이 줄어들고, 정렬이 단순화되며, 설정 시간이 단축됩니다. NIKON NSR-1505G6E 는 또한 초고해상도 (ultra-high resolving) 기능과 뛰어난 반복 기능을 제공하여 자동 수정 기능으로 웨이퍼에 흩어진 마이크로 도트를 인식할 수 있습니다. 이는 이미징 품질, 특히 전체 웨이퍼 필드 (wafer field) 전체에서 균일성을 식별하기 위해 화질을 향상시켜 미세 패턴 (fine-line patterning) 및 기타 소형화 된 기능에 이상적입니다. NSR 1505 G6E 는 완벽하게 자동화되며, 운영자가 설정을 사용자 정의하고 오류 감지 루틴을 프로그래밍할 수 있도록 완전히 운영자가 구성할 수 있는 PC 기반 운영 소프트웨어입니다. 모든 CAD 프로그램과 호환되며 자동 제어 (auto-controlling) 및 단계 및 반복 (step-and-repeat) 기능을 통해 원활하게 작동할 수 있습니다. 또한, 모든 데이터를 기록하여 정확한 패턴화를 보장하고 인적 오류를 최소화합니다. NSR-1505G6E 에 통합된 고급 알고리즘 및 확장 제어 설정 (Extended Control Settings) 을 사용하면 노출 및 정렬을 최대한으로 제어할 수 있습니다. 이미지 왜곡을 방지하기 위해 노출 설정을 조정할 수 있도록 크고 프로그래밍 가능한 조명 (lumination) 및 자동 노출 제어 (automatic exposure control) 기능이 있습니다. NIKON NSR 1505 G6E는 신뢰성이 높고 정확성과 속도가 빠릅니다. 완전하게 통합된 옵틱, 이미징, 모션 기능과 함께 사용하기에 강력하지만 사용이 간편하여 대형 웨이퍼 (Wafer) 레이아웃과 소형 (Small) 장치 제조에 적합합니다.