판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #293665027

NIKON NSR 1505 G6E 는 현재 시판되고 있는 가장 고급적이고 신뢰할 수 있는 스테퍼 중 하나입니다. NIKON NSR-1505G6E는 반도체 및 평면 패널 디스플레이 산업의 리소그래피, 검사, 프로세스 제어를 위한 다목적 이미징 장비입니다. 고해상도 스테퍼는 전체 웨이퍼 및 단일 칩 레벨 검사를 위해 4 인치 및 5 인치 싱글/더블 사이드 필드 이미징을 모두 지원합니다. NSR 1505 G6E 는 최첨단 시스템으로, 긴 기능 목록을 통해 정밀도 (precision) 및 속도 (speed) 요구 사항을 모두 충족하는 데 도움이 됩니다. 5 인치 플랫 필드 고수치 조리개 (NA) 프로젝션 렌즈, 전동 XY 스테이지, 다이오드 레이저 소스, 고해상도 카메라 및 270mm의 광학 교정 1 ~ 5 배 광학 줌 시스템이 장착되어 있습니다. 투사 작업 공간. 또한 NSR 스테퍼는 초당 최대 20 개의 이미지 프레임 (image frame per second) 과 스캔 머신 (scan machine) 을 갖춘 고속 줌 (high-speed zoom unit) 을 자랑합니다. 또한 NSR-1505G6E 는 매우 자동화된 플랫폼으로, 더 빠른 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. 여기 에는 "와퍼 '를" 카메라' 의 시야 에 맞추기 위한 자동 도구 가 포함 되어 수동 정렬 이 필요 치 않다. NIKON NSR 1505 G6E에는 더 빠른 이미지 획득, 분석, 처리가 가능한 이미지 처리 장치도 장착되어 있습니다. 이를 통해 운영자 워크로드를 크게 줄이고 생산성을 향상시킬 수 있습니다. NIKON NSR-1505G6E 스테퍼는 또한 Auto Alignment 소프트웨어와 함께 현재 사용 가능한 가장 고급 정렬 기술을 제공합니다. 이 자동 피쳐 (automated feature) 는 웨이퍼에 대해 최적의 정렬 패턴을 자동으로 결정한 다음, 패턴을 사용하여 각 광학 필드 위치를 정렬하여 가장 높은 정렬 정확도를 보장합니다. NSR 1505 G6E는 또한 NIKON 특허를받은 Global Alignment (글로벌 정렬) 자산을 사용하여 전체 웨이퍼에 대한 잘못된 정렬을 자동으로 감지하고 그에 따라 행동할 수 있습니다. 마지막으로, NSR-1505G6E 는 다양한 옵션을 포함하는 다양한 고급 프로세스 제어 기능 (Advanced Process Control) 을 제공하여 특정 요구 사항에 맞게 모델을 구성할 수 있습니다. 이미징 작업 동안 정렬을 유지하면서 전체 분야에서 포커스 위치를 최적화하는 자동 초점 장치 (Autofocus Equipment) 가 포함되어 있으며, 프로세스를 추적하는 데 도움이 되는 고급 데이터 분석/보고 툴 (Advanced Data Analysis and Reporting Tools) 도 포함되어 있습니다. 이 모든 기능은 다양한 애플리케이션에서 NIKON NSR 1505 G6E 의 뛰어난 성능과 안정성을 보여줍니다.