판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6E #293592863

TheNikon NIKON NSR 1505 G6E는 반도체 리소그래피에 사용되는 최신 고성능 레이저 스캔 스테퍼입니다. NIKON NSR-1505G6E는 고성능 스캐너 (scanner) 와 고급 초고속 광학 장치 (optic) 에 의해 구동되며, 초고속 전자 부품 제조를 위한 정확하고 신속한 노출을 보장합니다. NSR 1505 G6E는 최첨단 레이저 스캐너를 사용하여 노출되는 동안 p-V 왜곡이 적게 발생하면서 고정밀 이미징을 제공합니다. 이중 열 헥사 포딕 (hexapodic) 구조는 뛰어난 안정성과 정확한 모션 제어를 제공하는 반면, 독립 모션 스테이지는 이미지 치수를 훨씬 더 많이 제어합니다. 스캐너는 0.45nm의 뛰어난 측면 해상도, 향상된 광도, 더 큰 이미지 균일성을 제공하는 최신 광학 디자인을 사용합니다. 스캐너의 광 프로파일 (optical profile) 은 매우 균일하여 전체 시야에 걸쳐 왜곡이 적은 이미지를 제공합니다. NSR-1505G6E에는 높은 경량 처리량을 자랑하는 강력한 조명 장비가 장착되어 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 스테퍼는 최적의 노출 시간 (exposure time) 과 최대 웨이퍼 처리량 (wafer throughput) 을 달성하여 프로덕션 실행에 이상적입니다. 컴퓨터 제어 시스템은 정확한 이미징 및 노출 제어를 용이하게합니다. NIKON NSR 1505 G6E에는 파장 패턴, 슬릿 너비, 초점 제어, 레이저 파워, 펄스 지속 시간 및 펄스 모양과 같은 다양한 프로그래밍 가능한 매개 변수가 있습니다. 이러한 설정은 각 응용 프로그램의 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. NIKON NSR-1505G6E는 직경이 최대 200mm 인 기판을 처리 할 수 있으며, 고속, 대규모 노출 기능을 갖추고 있습니다. 또한 MEBES 레지스트 (resist) 및 LPCVD 프로세스의 사용을 지원하므로 여러 응용 프로그램 및 상황에서 사용할 수 있습니다. NSR 1505 G6E에는 고급 진단 장치도 포함되어 있습니다. 자가 진단 시스템 (Self Diagnostic Machine) 은 도구의 성능을 모니터링하는 반면, 원격 진단 기능을 통해 엔지니어는 모든 문제를 원격으로 정확하게 진단하고 복구할 수 있습니다. 전반적으로 NSR-1505G6E는 강력하고 고급 웨이퍼 스테퍼로, 탁월한 정확성과 성능을 제공합니다. 고품질 광학, 스캐너, 조명 자산, 프로그래밍 가능한 파라미터를 갖춘 이 웨이퍼 스테퍼는 반도체 리소그래피 (lithography) 에 이상적이며 앞으로 몇 년 동안 업계에 계속 서비스를 제공 할 것입니다.