판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6D #9269452

NIKON NSR 1505 G6D는 포토 리토 그래피 프로세스의 고급 제어 및 검사를위한 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 특히 IC의 개발, 제조와 관련된 시간과 비용을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. 스테퍼에는 0.01 µm 해상도를 제공하며 직경이 최대 150mm 인 웨이퍼를 처리 할 수있는 고정밀, 고해상도 5 축 동작 제어 장비가 있습니다. 또한 각 웨이퍼 (Wafer) 의 토폴로지 (Topology) 와 온보드 장애 (Fault) 및 오류 감지 장치 (Error Detection Unit) 에 맞게 광학의 초점을 자동으로 조정하는 통합 자동 초점 시스템도 포함됩니다. NSR 1505 G6D 는 EDF (Extended Depth of Field) 이미징을 제공할 수 있으므로 Wafer Height 간에 초점이 수동으로 이동하는 데 걸리는 시간이 많이 소요되는 프로세스를 대폭 줄일 수 있습니다. 사용 가능한 최첨단 이미징 기술을 사용하여 표준 해상도와 HR (고해상도) 이미징을 모두 수행합니다. 또한, 위치 (in-situ), 모서리 배치 기계는 빠른 모서리 배치 교정을 가능하게하여 정렬 정밀도와 정확도가 높습니다. NIKON NSR 1505 G6D에는 웨이퍼 매핑, 자동 정렬, 결함 검사를 지원하는 광범위한 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 또한 마스크 분석, 박막 측정 도구, 포토 마스크 정렬 (photomask alignment), 자동 결함 검사 (automated defect inspection) 등 다양한 측정 기술 및 소프트웨어와 통합 할 수 있습니다. NSR 1505 G6D 는 견고하고 유연한 툴로서, 오늘날 급속히 발전하는 반도체 제조 산업에 적합합니다. 고도로 자동화된 설계로 지속적인 고밀도 웨이퍼 처리를 보장하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다. 또한, 사용자 친화적인 인터페이스와 다양한 소프트웨어 솔루션을 통해 사용이 간편하고 생산성을 향상시킬 수 있습니다 (영문). NIKON NSR 1505 G6D는 고급적이고 비용 효율적인 리소그래피 프로세스에 적합한 완벽한 웨이퍼 스테퍼입니다.