판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6D #9269101

NIKON NSR 1505 G6D
ID: 9269101
웨이퍼 크기: 6"
Steppers, 6".
NIKON NSR 1505 G6D는 최첨단 웨이퍼 스테퍼로, 까다로운 반도체 산업을위한 정밀 사진 촬영 솔루션을 제공합니다. 이 고도로 찾는 스테퍼를 통해 사용자는 웨이퍼 (wafer) 개발 기능을 향상시켜 정확성과 반복성이 높은 고급 반도체 장치 패턴을 생산할 수 있습니다. 고급 옵틱, 모터라이제이션, 정밀 로봇 유닛, 노출 제어 시스템 및 이미지 분석 시스템을 결합하여 고품질 웨이퍼를 만듭니다. NSR 1505 G6D 는 모든 대규모 웨이퍼 (wafer) 생산에 탁월한 운영 속도, 높은 수준의 정확성 및 비용 절감 효과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템의 최대 노출 면적은 200mm x 200mm이며 30 ° m 해상도입니다. 프로그래밍 가능한 노출 프로파일과 함께 제공되어 정확한 패턴 복제 및 정확성을 보장합니다. 최대 노출 용량은 5000mJ/cm2입니다. 또한 더 높은 노출 소스, 수익률, 처리량을 제공하여 짧은 주기 (cycle time) 및 안정적인 생산이 가능합니다. 또한 NIKON NSR 1505 G6D 는 고급 이미지 분석 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기능을 지원하므로 노출 과정에서 자동으로 패턴 조정 및 실수 수정 작업을 수행할 수 있습니다. 스플라이싱 (splicing) 및 웨이퍼 개발을 위한 자동 노출 제어 시스템, 오버레이 평가 (overlay evaluation) 및 최적의 노출 시간의 사용자 조정 등 다양한 추가 기능을 갖추고 있습니다. 또한 노출 매개 변수를 쉽게 프로그래밍할 수 있도록 최첨단 레시피 인터페이스가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 유지 보수 및 다운타임을 최소화하도록 설계되었으며, 최적의 성능을 보장하기 위해 정기적인 예방 (Preventative) 유지 관리 및 전문 보정 (Professional Calibration) 만 필요합니다. NSR 1505 G6D는 200mm ~ 300mm 범위의 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 처리할 수 있으므로 대규모 사진 촬영 프로젝트에 사용할 수 있습니다. 고급 (Advanced) 기능을 통해 특정 어플리케이션을 수용할 수 있도록 맞춤형으로 구성할 수 있으며, 최고의 비용 효율성 (Cost Efficiency) 및 처리량 (Throughput) 표준을 제공합니다.
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