판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6D #9068865
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NIKON NSR 1505 G6D는 가장 진보 된 반도체 제조 공정에서 가장 고급 석판화 요구 사항을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 최고 수준의 정밀도 및 성능으로 구성된 NIKON NSR 시리즈 스텝퍼의 일부입니다. NSR 1505 G6D 는 대규모 CFD (Cold Field Diaphragm) Optic 을 채택하고 있어, 직접 이미징, 오버레이 등록, 디바이스 기능 정렬 등 까다로운 애플리케이션에 높은 해상도와 이미지 품질을 제공합니다. 이 광학 장비는 특허를 받은 모션 컨트롤 시스템과 결합하여 정확하고 정확한 웨이퍼 (wafer) 배치를 제공합니다. 이 생산 레벨 웨이퍼 스테퍼는 유연한 소프트웨어 아키텍처를 통해 설계되었으며, 사용자는 오버레이 보상, 자동 노출, 자동 스티칭, 자동 초점 제어 (auto-focus control) 뿐만 아니라 다양한 광 설계를 활용할 수 있습니다. NIKON NSR 1505 G6D는 다양한 파장 선택 설정을 가진 엑시머 레이저 (Excimer laser) 를 포함한 고급 광원 기술을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 사용자 응용 프로그램에 가장 잘 맞도록 펄스 지속 시간 (pulse duration) 과 빔 강도 (beam intensity) 를 조정할 수 있습니다. 또한 고급 모션 컨트롤 (Motion Control) 및 웨이퍼 처리 시스템 (Wafer Handling System) 을 사용하여 처리량을 높일 수 있습니다. 고급 기능 외에도 NSR 1505 G6D는 신뢰할 수 있는 성능으로 유명합니다. 다각도 냉각 장치 (Multiple-Zone Cooling Unit) 가 장착되어 있어 온도의 효율적인 관리 및 유지 관리를 보장합니다. 이 냉각기는 먼지 대피를위한 도구 통풍구가 지원합니다. NIKON NSR 시리즈 스테퍼는 높은 정밀도 및 처리 속도로 유명하며 NIKON NSR 1505 G6D도 예외는 아닙니다. 정밀하고 일관된 이미지 처리를 위해 고도로 안정된 전원 공급 장치와 정밀 모터 드라이브 (precision motor drive) 시스템이 장착되어 있습니다. Cleanroom 호환 스테퍼에는 배치 모니터링 자산, 작업 예약, 등록, 목표 보상, 트랙 및 추적, 유리 카세트 세트 등과 같은 유틸리티도 있습니다. 전체적으로 NSR 1505 G6D는 고해상도, 이미지 품질, 빠른 처리 속도를 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 기능과 안정적인 성능, 반도체 장치 제작 및 기타 복잡한 리소그래피 (lithography) 요구 사항에 적합합니다.
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