판매용 중고 NIKON NSR 1505 G6D #293817958
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ID: 293817958
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45
Resolution: 750 nm
DCO: 140
Throughput (WPH): 58.
NIKON NSR 1505 G6D 웨이퍼 스테퍼는 집적 회로 개발에 사용하도록 설계된 고정밀 석판화 도구입니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 NIKON NSR-G6 리소그래피 플랫폼을 기반으로 구축되어 칩 생산에 비용 효율적인 성능을 제공합니다. 저해상도 오버레이 오류 및 정밀한 정렬과 함께 최대 해상도 0.285õm (m) 를 제공합니다. NSR 1505 G6D는 쿼츠, 실리콘, 갈륨 비소와 같은 다양한 유형의 기판을 처리 할 수 있으며, 웨이퍼에서 칩 생산은 2 인치 작습니다. 웨이퍼 스테퍼에는 듀얼 스테이지 자동 초점 장비와 내장 정렬 시스템이 장착되어 있습니다. 이는 비교할 수없는 정확도로 웨이퍼를 정렬하여 고정밀도 에치 (etch) 패턴을 만들 수 있습니다. 이 기계는 NIKON 친환경 G6 제어 소프트웨어 (G6 제어 소프트웨어) 로 구동되며, 사용자의 개입을 최소화하면서 완전한 자동 작동을 제공합니다. 사용자 인터페이스는 사용하기 쉽고, 사용자가 리소그래피 (lithography) 프로세스를 쉽게 제어할 수 있도록 합니다. 또한 NIKON NSR 1505 G6D는 저소음 작동 및 선택 가능한 노출 모드를 제공합니다. 리소그래피 (lithography) 프로세스가 최적화되도록 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 여러 가지 옵션 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 온보드 측정 장치 (on-board measurement unit) 가 포함되어 있어 노출 영역의 크기와 모양을 측정할 수 있습니다. 컴퓨터는 자동 로드 (auto-loading) 시스템의 옵션을 제공하여 사용자가 빠르고 쉽게 웨이퍼를 입력할 수 있습니다. 또한, 고속 스캔 및 노출 프로세스를 통해, 이 기계는 시간당 약 40 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. NSR 1505 G6D 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 사용자가 집적 회로 생산을 위해 비용 효율적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 최첨단 리소그래피 (lithography) 도구는 사용자에게 친숙한 인터페이스 및 선택 가능한 노출 모드와 함께 사용하기 쉽습니다. 뛰어난 해상도와 정렬 기능으로, 고정밀도 칩 생산에 완벽한 선택입니다.
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