판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4D #9269100

NIKON NSR 1505 G4D
ID: 9269100
웨이퍼 크기: 6"
Wafer steppers, 6".
NIKON NSR 1505 G4D 웨이퍼 스테퍼는 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제작을 위해 설계된 고급 석판화 장비입니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 광학 기술과 기타 기술의 조합을 사용하여 패턴을 다양한 기판으로 빠르고 정확하게 전송하도록 설계되었습니다. NIKON NSR 1505 G 4 D 웨이퍼 스테퍼는 최대 600 µC/cm2의 노출 용량에 도달 할 수 있으며, 10 nm 크기의 기능 크기를 패턴화하는 데 사용할 수 있습니다. NSR 1505 G4D 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 에는 패턴 쓰기 속도를 늦추지 않고 복잡한 나노 구조 패턴을 제거하는 독특한 유형의 스캐닝 메커니즘이 장착되어 있습니다. 다이렉트 드라이브 스테이지 (direct-drive stage) 및 초고정밀 카메라 시스템 (ultra-precision camera system) 과 같은 컴포넌트에는 수치 조리개가 0.55인 투영 광학 (projection optics) 과 같은 고급 기능이 통합되어 있습니다. 이 정교한 기술은 전체 시야에서 노출이 정확하고 균일하도록 보장합니다. NSR 1505 G 4 D 웨이퍼 스테퍼의 핵심에는 매우 민감한 레이저 모드 승수가 있습니다. 고급 광학 장치 (optical unit) 와 결합된 이 구성 요소는 스테퍼가 다양한 패턴 작문 (pattern writing) 옵션을 제공할 수 있도록 합니다. 노출 방법은 반복 가능하며, 정확도와 정밀도가 높은 고품질 패턴을 만드는 데 사용될 수 있습니다. NIKON NSR 1505 G4D 웨이퍼 스테퍼는 차세대 터치 다운 웨이퍼 로더를 사용하는 고성능 네트워크 컴퓨터로 구동됩니다. 이 효율적인 장치는 웨이퍼 전송을 신속하게 처리하고, 웨이퍼 세그먼트의 위치, 가용성, 정렬을 정확하게 평가합니다. 웨이퍼 로더 (wafer loader) 는 미크론 (micron) 까지 패턴 오버레이의 차이를 감지 할 수 있으며, 최대 6 개의 웨이퍼에 동시에 노출을 수행 할 수 있습니다. NIKON NSR 1505 G 4 D 웨이퍼 스테퍼 (D Wafer Stepper) 는 설치 시간이 최소화되어 새로운 패턴을 수용할 수 있으므로 제조업체가 유연하고 생산성을 유지할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 습도가 높고, 온도가 높고, 조명이 적은 환경에서 효율적으로 작동 할 수 있습니다. NSR 1505 G4D 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 의 추가 기능에는 자동 보조 가스, 내장 가스 제어 기계 및 렌즈 요소의 안정적인 이동을 제공하는 완전히 조절 가능한 바디 웨이트 도구가 포함됩니다. 마지막으로, 웨이퍼 스테퍼 (wafer steper) 의 유지 보수 친화적 인 설계를 통해 생산 과정의 중단을 최소화하면서 결함 있는 부품을 신속하게 서비스 및 교체할 수 있습니다. NSR 1505 G 4 D 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 반도체 및 평면 패널 디스플레이 제조업체에 높은 정확성, 반복 가능성 및 유연성을 제공하는 고급 석판화 자산입니다. 다양한 기능과 기능을 갖춘 고급 석판화 (lithography) 애플리케이션을 위한 최적의 선택입니다.
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