판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4D #293819196

NIKON NSR 1505 G4D는 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 산업의 사진 식자술 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. NIKON NSR 1505 G 4 D는 조정 가능한 catadioptric 프로젝션 렌즈와 더 큰 정렬 시야로 반도체 회로의 정밀 마이크로 패턴화를 가능하게하는 고급 프로덕션 클래스 스텝 앤 스캔 장비입니다. 최신 고급 이미징 (Advanced Imaging) 기술을 채택하여 정확도가 높고 해상도가 매우 높은 직접 정렬 및 패턴 전송을 지원합니다. 이 시스템은 뛰어난 패턴 배치 정확도, 왜곡이 없는 이미지 충실도 (distortion-free image fidelity), 최고 처리량 및 고급 환경 제어를 지원하는 옵션을 제공합니다. 이미지 크기는 5 인치이며 최대 8 인치 크기의 기판을 수용 할 수 있습니다. 노출 파장은 248nm이며 레이저 간섭계를 지원합니다. NSR 1505 G4D는 높은 정확도와 낮은 패턴 왜곡을 위해 설계되었습니다. 스텝 (Step) 및 스캔 (Scan) 기술을 통해 높은 처리량과 미세 해상도를 구현하고, 사용자가 생성한 마스크 패턴을 정확하게 복제하기 위한 능동적인 정렬 및 고급 광학 최적화를 제공합니다. 또한 스캔 속도를 조정하여 처리 시간을 최적화할 수 있습니다. 이 장치는 초점과 정렬을 위해 웨이퍼 에지 후속 시스템, 웨이퍼 평판 교정 (wafer flatness correction) 용 활성 센서, 자동 스테이지 교정 (auto stage calibration) 과 함께 고급 환경 제어를 사용합니다. 자동 입사 조명 및 셔터 제어를 통해 수동, 반자동 또는 완전 자동화 모드로 작동 할 수 있습니다. 또한 툴에 필요한 컴퓨팅 자원, 소프트웨어, 지원 및 RAM 을 액세스할 수 있습니다. 또한 실시간 모니터링 및 피드백을 제공하여 빠르고, 정확하고, 효율적인 웨이퍼 처리를 보장합니다. 전반적으로 NSR 1505 G 4 D는 반도체 산업에서 고급 사진 촬영 및 마이크로 패턴 처리 (micro-patterning process) 제작을위한 완벽한 도구입니다. 최신 고급 이미징 (Advanced Imaging) 과 환경 (Environmental) 기술로 제작되었으며 운영 처리량 및 정확도에 최적화되었습니다. 이것은 많은 반도체 산업에 이상적인 선택입니다.