판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4D #293616233

NIKON NSR 1505 G4D 는 광범위한 운영 요구 사항을 충족하도록 설계된 포괄적인 다기능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 반도체 장치 생산에서 고급 석판화 기능 (lithography capability) 과 높은 수준의 성능, 효율성, 신뢰성을 제공하기 위해 만들어졌습니다. NIKON NSR 1505 G 4 D에는 매우 정밀한 X, Y, z 모터 장비로 구동되는 이중 축 단계가 있습니다. 이 시스템은 최대 1,000nm 속도로 초미세 정렬 및 단축 이동을 허용합니다. 위치 정렬의 정확도는 0.1 m입니다. 이 기계에는 단일 xenon 광원을 사용하는 고급 3 챔버 몰입 장치가 장착되어 있습니다. 전체 칩 생산을 위해 높은 수준의 처리량 (throughput) 과 광도를 유지할 수 있습니다. 이 기계는 최대 해상도 0.14 m 및 NA (숫자 조리개) 0.93을 제공하여 미세 이미징 및 고품질 웨이퍼를 허용합니다. NSR 1505 G4D는 또한 완전히 자동화된 고정밀 다이 투 웨이퍼 정렬 도구를 갖추고 있습니다. 따라서 위치 오류를 신속하게 수정하고, 정확성과 처리량을 유지할 수 있습니다. 안전은 NSR 1505 G 4 D의 우선 순위입니다. 이상이나 비상 사태가 발생할 경우 자산을 감지하고 중지하는 OGI (Open Gate Interlock) 센서가 포함되어 있습니다. AMS (Automatic Measurement Model) 는 기계의 사용 패턴을 모니터링하여 잠재적인 장애 또는 고장이 즉시 식별되고 보고됩니다. 또한 NIKON NSR 1505 G4D 는 품질을 극대화하고 유지 보수 작업을 간소화할 수 있도록 설계된 다양한 고급 소프트웨어 기능을 제공합니다. 이 기계에는 프로세스 제어, 교정, 로트 추적, 패턴 품질 제어 등의 도구가 장착되어 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR 1505 G 4 D는 고정밀 칩 생산을 위해 설계된 고급적이고 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 강력한 하드웨어와 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 결합하여 뛰어난 유연성과 다용성을 제공합니다. 첨단 전자 회로 및 부품 생산에 이상적인 기계입니다.