판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4D #293607259

ID: 293607259
Wafer stepper.
NIKON NSR 1505 G4D는 뛰어난 품질의 포토 마스크 및 전원 장치를 대량으로 제작하여 고급 리소그래피 (lithography) 어플리케이션에 적합한 정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비에는 고해상도 레이저 정렬 시스템 (Laser Alignment System) 이 있어 정확성과 정확성을 보장하며 고속 작동이 가능합니다. 이 장치에는 400mm x 600mm 활성 영역이 있으며 최대 기판 크기는 150mm x 150mm입니다. 또한 4 개의 파장과 16 수준의 조명 강도에서 분당 최대 70 초의 노출 시간을 제공합니다. NIKON NSR 1505 G 4 D에는 디지털 이미징 마스크 (DIM) 머신이 장착되어 있으며, 최대 8 메가 픽셀 해상도와 10 미크론 정확도로 포토 마스크 패턴을 생성 할 수 있습니다. 디지털 패턴 생성기는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공하여 고정밀 어플리케이션에 적합합니다. 또한 멀티 칩 패키징 도구 지원 칩 스탠드 오프 간격 다이빙 스테이션이 있습니다. 에셋에는 와플 맵 코터 카세트 (waffle-map coater cassette) 옵션이 있으며, 이는 기판 표면 거칠기를 줄이고 고품질 포토 마스크 결과를 달성하는 데 도움이됩니다. 이 모델에는 향상된 이미지 분석, 비디오 모니터링, 안전한 데이터 전송을 제공하는 NIKON 독점 iCommander 소프트웨어도 함께 제공됩니다. 또한 NSR 1505 G4D 는 고속 패턴 검출기 (pattern detector) 와 종합적인 조명 스캔 장비를 갖추고 있어 작업 중에 매개변수를 정확하게 측정, 제어, 조정할 수 있습니다. 안전성 측면에서, NSR 1505 G 4 D에는 독특한 열 관리 시스템 (thermal management system) 이 장착되어 있는데, 이 시스템은 열 방출을 최소화하고 전체 챔버 온도를 안전한 온도 범위 내에 유지하는 데 도움이됩니다. 이 장치에는 또한 고에너지 필터 (high-energy filter) 가 제공되어 무대에서 방출 된 대기 오염 물질을 줄입니다. 전반적으로 NIKON NSR 1505 G4D는 신뢰할 수 있는 고성능 웨이퍼 스테퍼로, 고급 석판화에 우수한 결과를 제공합니다. 안전성과 효율성을 높여 고정밀도, 대용량 (high-volume) 생산에 적합한 다양한 기능과 기술을 갖추고 있습니다.
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