판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4D #293607253

NIKON NSR 1505 G4D는 다양한 마이크로 세공 응용 프로그램에 사용되는 5 인치 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 데이터 처리량, 정확한 정렬 기능, 최고 수준의 성능, 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 최첨단 기술은 생산 반도체 제작의 얼굴을 크게 바꿨습니다. NIKON NSR 1505 G 4 D는 다양한 웨이퍼 크기와 기능 크기와 함께 사용되므로 최대 15 개의 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있습니다. 풀 필름 투영 (full-film projection), 다중 노출 (multiple exposure), 레이어 정렬 (layered alignment), 다양한 유형의 정렬 등 다양한 프로세스 옵션을 처리할 수 있습니다. NSR 1505 G4D에는 높은 정확도의 로터리 스테이지 (rotary stage) 가 장착되어 있어 유연성이 극대화되어 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. NSR 1505 G 4 D에는 다양한 통합 디지털 이미징 시스템 (예: 합리적인 비용으로 높은 해상도와 낮은 소음 특성) 이 있습니다. 처리 속도는 매우 빠르며, 임계 정렬 단계에서 10 미크론 이상의 해상도를 사용할 수 있습니다. 또한 샷 오류 감지 기능 (shot error detection feature) 을 사용하여 사용자가 설계한 정렬 요구 사항에 맞지 않는 발생 가능성을 알립니다. NIKON NSR 1505 G4D의 온보드 제어 시스템은 이미지 스케일, 이미지 센터 및 z 레벨 조정을 용이하게 합니다. 강력한 데이터 관리 소프트웨어는 '정렬 매트릭스 라이브러리', '내장 진단', '원격 모니터링' 등의 부가 가치를 제공합니다. NIKON NSR 1505 G 4 D의 고급 자동화 기능은 웨이퍼 생산 프로세스에 이상적입니다. 라인 단위 자동 검색 알고리즘, 자동 이미지 최적화, 자동 기판 교환, 자동 슬릿 제어 (automated slit control) 등의 기능이 제공됩니다. 또한, 단순한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 결합된 대화식 프로그래밍 장비는 사용자가 쉽게 작동할 수 있는 시스템을 제공합니다. NSR 1505 G4D 는 신뢰성이 높으며, 공구 손상을 방지하기 위한 내장 진동 감지 장치를 갖추고 있습니다. 또한 방화벽, 예비 전원 공급 장치, 효과적인 안전 연동 보안 시스템 등 다양한 안전 (Safety) 기능을 제공합니다. 마지막으로, 이 기계는 경쟁적인 비용과 낮은 유지 보수 요건으로 작동하도록 설계되었으며, 반도체 (semiconductor) 제작 프로세스에 이상적인 솔루션이 되었습니다.