판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4D #293607252
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NIKON NSR 1505 G4D는 직경이 약 150mm 인 기판의 볼륨 생산을위한 정밀하고 고성능 photolithography 스캐너입니다. 고급 웨이퍼 스테퍼 (Advanced Wafer Stepper) 로서는 고품질 제품 제조를 위한 고급, 고속, 효과적인 패턴화를 통해 탁월한 처리량과 비용 효율성을 제공합니다. 1505 G4D는 에센셜 (Essential) 설계 기능과 강력한 조명기술을 바탕으로 설계되어 있어, 최첨단 반도체 장치 생산을 용이하게 합니다. 이 제품은 노출 위도가 5 배 감소하여 해상도가 더 높고 이미지가 더 선명하며, 독자적인 고급 옵티컬 칩 (Optical Chip) 은 이미지 품질이 향상되었으며, 극도로 확대될 때 초점이 더 좋습니다. 이것은 또한 NIKON 내장 Aircut 메커니즘에 의해 도움이되며, 이는 리소그래피 커버에서 공기 흐름에 의해 생성 된 패턴 전달의 불균형을 줄입니다. NIKON NSR 1505 G 4 D의 중심에는 높은 전력, 850nm, 연속 파동 IR 레이저 소스가 있으며, 이는 예측 가능한 노출 전력 및 출력 빔의 절대 균일성 덕분에 뛰어난 처리량과 높은 사진 전압을 가능하게합니다. 이로써 "에칭 '된" 패턴' 은 가장 진보 된 반도체 성분 을 제조 할 때 발견 되는 높은 배율 에서도 극소 의 결함 이 있을 것 이다. 또한 1505 G4D의 고급 옵틱 (optic) 은 프로그래밍성과 재처리 기능과 관련하여 유연성이 뛰어나고 효율적입니다. FPLA (Field Programmable Logic Array) 를 특징으로하며, 특정 기판 및 웨이퍼 크기에 맞춘 노출 레시피의 빠른 프로그래밍과 정밀 정렬, 회전 및 확대를위한 복잡한 계산에 사용될 수있는 초고해상도 프로그래밍 가능 전동 광학을 제공합니다. 또한 다양한 프로세스 (process) 와 재료 (material) 에 사용할 수 있도록 다양한 스텝퍼와 호환됩니다. 또한 NSR 1505 G4D 는 활성 정렬 시스템 (Active Alignment System) 을 포함한 다양한 안전 기능을 제공하여 열 사이트 손상을 방지합니다. 즉, 고급 열 관리 시스템 (Thermal Management System) 및 팬 속도 제어 (Fan Speed Control) 와 연동하여 구성 시 디바이스에 대한 열 손상이 최소화되도록 합니다. 또한 NSR 1505 G 4 D 는 ISO 10218-2 및 NFPA79 와 같은 여러 업계 표준 안전 프로토콜 인증을 받았으므로, 최고 수준의 안전 기준을 충족할 수 있습니다. 전체적으로 NIKON NSR 1505 G4D는 정밀 사진 다이어그래피 프로세스를위한 다재다능하고 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 요구 사항과 복잡성을 지닌 다양한 기판에 사용할 수 있으며, 고급 (Advanced) 기술은 높은 화질, 최소한의 결함, 더 나은 비용 효율성을 보장합니다. 안전성 (Safety Features) 의 범위와 업계 표준과의 호환성을 통해 반도체 부품을 제작하는 데 매우 신뢰할 수 있는 도구입니다.
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