판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4D #293607251

ID: 293607251
Wafer stepper.
NIKON NSR 1505 G4D는 NIKON의 G4D, 4 세대 풀 필드 프로덕션 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 고품질 웨이퍼 패턴화를 위해 이중 대구경 프로젝션 렌즈를 사용하여 모든 유형의 반도체 어플리케이션을위한 고성능 도구 (HPP) 입니다. 고급 이미징, 탐색 및 정렬 기술을 통해 이 스테퍼는 최고 수준의 생산성, 정확성, 스캐닝 품질을 제공합니다. NIKON NSR 1505 G 4 D는 가변 필드 크기, 수백만 샷 정렬, 자동 초점, 3D 모양 측정, 자동 대비 및 자동 압력 감지 등 다양한 기능을 자랑합니다. 빠른 스캔 (fast-scan) 기술은 향상된 패턴 전송 속도와 정확도를 제공하는 반면, 높은 정확도의 모터 기술은 부드러운 패턴 배치를 보장합니다. 또한 자동 중심, 자동 정렬, 자동 모양 (auto-shaping) 등 다양한 고급 제어 설정과 자동 기능을 제공합니다. 스테퍼의 또 다른 주요 특징은 이중 투영 렌즈입니다. 이러한 렌즈는 최고 수준의 Accutate Image 인수 및 패턴 복제를 제공합니다. 이중 투영 렌즈는 0.60의 높은 수치 조리개 (NA) 를 가지며, 중간에서 대량의 생산에 이상적입니다. 또한, 고압 조명 시스템은 도전적인 반도체 응용 프로그램에서도 최적의 패턴화를 보장합니다. 또한 NSR 1505 G4D는 2 차/3 차 충돌 감지 및 예방, 적응 이미지 제어, 이중 레벨 위치 모니터링 등 여러 가지 고급 모션 제어 기능을 제공합니다. 이러한 기능은 마모를 최소화하고 유지 관리 필요성을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, 스테퍼의 서보 제어 시스템 (servo control system) 은 높은 정확도와 엄격한 내성이 필요한 응용 프로그램에서도 원활한 작동을 제공합니다. 원활한 워크플로를 위해 NSR 1505 G 4 D는 여러 가지 오류 처리 도구를 제공합니다. 예를 들어, 잠재적 오류를 보고하는 경고 시스템을 제공합니다. 또한 자동 웨이퍼 체인저 (wafer changer) 를 사용하면 웨이퍼를 빠르고 정확하게 전환하여 다운타임을 줄이고 운영 중단을 최소화할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR 1505 G4D는 고정밀 패턴 이미징이 필요한 모든 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 이중 프로젝션 렌즈, 자동 제어 (automated control) 및 고급 모션 제어 기능을 통해 다양한 웨이퍼 처리 작업에 이상적인 툴이 됩니다. 즉, 빠르고 정확한 웨이퍼 패턴화를 통해 생산량을 높이고 프로세스 효율성을 높일 수 있습니다. 반도체 생산에 완벽한 선택입니다.
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