판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4C #9296337
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NIKON NSR 1505 G4C는 반도체 및 기타 마이크로 장치 제작에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 장비는 스캐너 (scanner), 열 (column) 및 개폐식 광학 시스템으로 구성되어 석판 처리 중 높은 정확도와 속도를 가능하게합니다. 큰 시야를 이동할 수 있으며, 최대 직경 150mm (최대 필드 크기: 330mm) 의 기판을 지원합니다. G4C 장치는 고급 무한대 시스템 (Advanced Infinity Machine) 으로 설계되어 고속 525mm/s의 스캔 속도와 함께 1.5X ~ 25X 사이에서 배율을 조정할 수 있습니다. 직접 정렬 도구, 다이 투 다이 스티칭 (Die-to-Die Stitching), 가변 형 빔 스캐닝 (Variable Shaped Beam Scanning) 등 가장 훌륭한 기능을 갖추고 있어 매우 미세한 해상도를 제공합니다. NIKON NSR 1505 G 4 C 자산은 단일 스캔에서 여러 노출 응용 프로그램을 처리하여 처리량이 높고 정확도가 높아집니다. 이것은 VSB (Variable Shaped Beam Scanning) 모델을 통해 활성화됩니다. VSB (Variable Shaped Beam Scanning) 모델은 인쇄된 패턴에서 치수 재생을 달성하거나 LER (Line Edge Roughness) 을 늘릴 수 있습니다. 시장에서 가장 빠른 시스템 중 하나 인 G4C 스테퍼는 28nm, 라인 너비는 10nm, 고해상도를 제공합니다. 또한 노출 시간을 줄이고, 마이크로 패턴에 대한 낙인을 방지하고, 고정밀 오버레이 정렬을 제공하는 완전 동기화 셔터 (FSS) 장비를 갖추고 있습니다. 또한 NSR 1505 G4C 시스템은 인체 공학적으로 친숙한 제어판과 함께 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 통합 오버레이 제어 장치 (Integrated Overlay Control Unit) 도 포함되어 있어 쉽게 조정 및 보정을 수행할 수 있습니다. VTS (Visual Tracking Machine) 및 다양한 VTS (Smart Software Solution) 가 포함되어 있어 운영 역량 및 운영 가시성을 향상시켜 실시간 모니터링 및 예방 유지 보수가 가능합니다. 결론적으로, NSR 1505 G 4 C는 다재다능하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼로, 뛰어난 성능을 제공하고 마이크로 디바이스를 제작하도록 설계되었습니다.
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