판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4C #9222897

NIKON NSR 1505 G4C는 다양한 photolithographic 작업을 수행하는 데 이상적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 최대 150mm 웨이퍼를 처리 할 수있는 안정성이 뛰어난 풀 필드 옵티컬 스테퍼 (optical stepper) 장비입니다. Optical System은 뛰어난 화질과 현장 평탄성을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. X-Y 단계에는 광범위한 노출 및 용량 제어를 가능하게하는 고급 셔터 장치 (shutter unit) 가 있으며, X-Y 단계에서는 빠르고 정밀한 정렬이 가능합니다. NIKON NSR 1505 G 4 C에는 NIKON 독점 MBAS (Multi-Beam Alignment Machine) 가 장착되어 있어 정렬 시간이 크게 단축되어 뛰어난 정렬 정확성을 제공합니다. 스테퍼에는 고정밀도 및 균일 한 노출을 제공하는 고급 조명 도구가 있습니다. 유연하고 프로그래밍이 가능한 AutoFocus 자산은 렌즈 기울기의 정확성을 보장하며, 자동 실시간 초점 조정 기능으로 서피스 프로파일 변경을 수정합니다. NSR 1505 G4C는 또한 고정밀도, 고해상도 X-Y 단계를 갖추고 있으며, 이는 기판 처리 및 포지셔닝의 정확성과 정확성을 보장합니다. 또한 스테퍼의 최첨단 직접 구동 모터를 사용하면 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. 스테퍼에는 공중 이미지, 프로파일 이미지, 확대/축소 이미지, 조정 가능한 대비 이미지 등 다양한 이미징 옵션이 있습니다. 또한 고유한 옵티컬 프로브 센서 (Optical Probe Sensor) 를 갖춘 온보드 웨이퍼 식별 기능을 제공하여 스테퍼가 사용 중인 기판 유형을 식별 할 수 있습니다. 이 스테퍼에는 노출 중 이미지를 얻기, 측정 및 처리하는 데 사용할 수있는 통합 비전 (Integrated Vision) 모델이 있습니다. 이 장비를 사용하면 기판 검사, 검사 등 여러 기능을 자동으로 실행할 수 있습니다 (예: 기판 검사, 검사). NSR 1505 G 4 C에는 종합적인 웨이퍼 추적 및 제어 기능이 있습니다. 웨이퍼 온도 (wafer temperature), 챔버 압력 (chamber pressure), 가스 흐름 처리 (process gas flow) 와 같은 항목을 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한, 스테퍼의 고급 자동화 시스템을 사용하면 웨이퍼를 자동으로 로드 및 언로드할 수 있습니다. 마지막으로, NIKON NSR 1505 G4C에는 완전 통합 결함 검사 장치 (Defect Inspection Unit) 가 장착되어 있으므로 웨이퍼 표면의 결함을 빠르고 정확하게 검사 할 수 있습니다. 이 기계 는 "웨이퍼 '의 제조 를 방해 할 수 있는 오염 물질 과 표면 불완전성 을 식별 할 수 있다.