판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4 #293602063
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NIKON NSR 1505 G4는 고급 반도체 공정 리소그래피를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 초고수치 조리개 (NA) 요구 사항에 맞게 최적화된 광학 장비와 첨단 현미경 (microscope) 및 이미징 시스템을 효과적으로 결합합니다. 이 장치는 넓은 필드 깊이에서 노출을 동적으로 최적화하며, 탁월한 프로세스 리소그래피 결과를 제공합니다. NSR 1505 G4는 최대 4500배의 스캐너 배율을 가진 135mm (mm) 크기의 대형 필드 크기를 가지고 있습니다. 최소 해상도 0.7 µm, 최대 라인 너비 0.2 µm (고해상도 광학) 및 빠른 노출 시간을 제공합니다. 고정밀도 이미징 기능으로, 가장 복잡한 패턴까지 정확하게 재현할 수 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 또한 고도로 고급 노출 제어 머신 (Exposure Control Machine) 을 특징으로하며, 이는 각 노출 분야의 결함을 사실상 제거합니다. 이 제어 도구는 각 노출 필드 내의 드리프트 (drift) 및 포커스 오프셋 (focus offset) 등의 오류를 자동으로 보완합니다. 또한 매우 짧은 노출 주기 (exposure cycle time) 로 더 높은 노출 처리량을 허용합니다. NIKON NSR 1505 G4는 뛰어난 성능과 함께 사용하기 쉬운 자산을 제공합니다. 직관적이고 사용자 친화적 인 정교한 소프트웨어 기반 모델 제어 (model control) 기능을 통해 사용자는 동일한 장비의 작업을 손쉽게 프로그래밍, 저장, 리콜할 수 있습니다. 이렇게 하면 노출 설정 (Exposure Settings) 에서 높은 수준의 유연성을 얻어 시스템을 다양한 노출 작업 (Exposure Job) 에 사용할 수 있습니다. NSR 1505 G4 는 다양한 지원 및 서비스 옵션을 제공하며, 이를 통해 손쉽게 수리 또는 부품을 교체할 수 있습니다. 또한 다양한 사용자 정의 (customization) 를 제공하여 사용자는 리소그래피 프로세스의 특정 요구를 충족할 수 있습니다. NIKON NSR 1505 G4 장치는 반도체 프로세스 리소그래피 (lithography) 업계의 엄청난 발전으로, 하이엔드 칩 생산에서 전례없는 수준의 성능, 유연성, 품질을 제공합니다. NSR 1505 G4 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 대용량 현장 심도, 고해상도, 빠른 노출 시간, 사용이 간편한 소프트웨어 기반 제어 등의 기능을 통해 반도체 업계에서 가장 큰 업체에 적합합니다.
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