판매용 중고 NIKON NSR 1505 G4 #121003

NIKON NSR 1505 G4
ID: 121003
G-line stepper.
NIKON NSR 1505 G4는 종합적이고 매우 복잡한 많은 기능을 도입 한 선구적인 스테퍼입니다. 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 와 역학/열기술 (mechanics/thermal technologies) 을 하나의 시스템으로 결합한 장치다. 광석기 (photolithographic) 공정에서 아트 정확도, 정밀도 및 기능의 상태를 제공하도록 설계되었습니다. 니콘 (NIKON) 의 스텝퍼 범위에 새로 추가 된 것으로, 탁월한 패턴화 품질과 등록 정확성을 자랑합니다. 이 시스템은 가장 까다로운 애플리케이션의 요구 사항을 처리할 수 있습니다. NSR 1505 G4 는 높은 처리량 (high throughput) 과 프로세스 유연성 (process flexibility) 이 가장 중요한 포토마스크 (photomask) 생산과 같은 고급 기술 노드의 과제를 해결하기 위해 적합합니다. NIKON NSR 1505 G4의 주요 혁신 중 하나는 혁신적인 Telecentric Optically Indexed Illumination 또는 OIX Technology의 통합입니다. 이 프로세스는 매우 작은 크기의 고정밀도, 균질화 된 직사각형 모양의 균일 한 투영 이미지를 공급할 수 있습니다. 이 기능은 뛰어난 이미징 성능과 이미지 대비를 제공하여 높은 처리량과 해상도를 제공합니다. 또한 NSR 1505 G4 는 OIX 기술 (OIX Technology) 외에도 뛰어난 패턴화 품질 및 반복 기능을 제공하도록 설계된 다양한 하이엔드 (High-End) 기능을 추가로 갖추고 있습니다. 예를 들어, 이중 초점 이중 파장 피쳐 (Dual Focal Dual Wavelength Feature) 는 향상된 해상도와 패턴 정밀도를 제공하는 반면, 가변 배율 (Variable Magnification) 은 다양한 패턴 피쳐를 수용하고 높은 정밀도 단계 및 반복 작업을 가능하게 합니다. NIKON NSR 1505 G4는 또한 크롬리스 이미지 전송 기술 (chromeless image transfer technology) 을 통합하여 석판화 인공물을 줄이면서 패턴의 정확성을 높입니다. 이 외에도, 이 장치는 조절 가능한 기판 온도 컨트롤러 (adjustable substrate temperature controller) 를 특징으로하며, 기판의 각 레이어에 대해 별도로 설정할 수 있으며, 이를 통해 photolithography 프로세스의 성능 및 신뢰성을 향상시킬 수 있습니다. 이 기능은 종종 대형 기판과 관련된 응용 프로그램에 유용합니다. NSR 1505 G4는 고해상도 사진 해설을 제작하기 위한 강력하고 포괄적인 도구입니다. 이 제품은 다양한 고급 기능을 제공하여, 반복성과 높은 처리량을 지닌 정밀 (precision) 패턴화를 지원합니다. 이 시스템은 가장 까다로운 고급 기술 노드 (advanced technology node) 의 요구에 적합합니다.
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