판매용 중고 NIKON NES1 H04 #9410902
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NIKON NES1 H04 웨이퍼 스테퍼는 VLSI 및 ULSI 집적 회로 칩 생산을 위해 반도체 산업에서 사용되는 아트 석판 도구의 상태입니다. 620 mm x 620 mm 이상의 넓은 작업 면적과 0.5 nm의 매우 정확하고 제어 가능한 이동으로 NIKON NES1-H04는 가장 높은 밀도의 고급 전자 회로를 생산할 수 있습니다. NES1 H04 (NES1 H04) 는 웨이퍼 표면에 정확한 패턴을 생성하는 일련의 광학 부품 및 고급 제어 서브 시스템 (High-Level Control Sub System) 을 갖추고 있습니다. 수치 조리개가 0.5 인 6 인치, 고해상도 F2 스테퍼 렌즈와 405nm 또는 365nm의 광원이 있습니다. 또한 최대 250 mm/sec 선형 속도와 400 nm/radian 회전 정확도가 가능한 높은 XY 스테이지가 특징입니다. 이로써 웨이퍼 스테퍼는 단일 트랜지스터 (single transistor) 에서 더 큰 상호 연결 (interconnect) 에 이르기까지 크기 범위의 칩의 일부를 정확하게 만들 수 있습니다. 인상적인 옵틱 외에도 NES1-H04는 매우 효율적인 냉각 시스템을 자랑합니다. 고성능 몰입 리소그래피 (Immersion Lithography) 장치는 탁월한 환경 제어 및 저압, 저진동 플랫폼을 제공하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 열 소음을 제거하여 결과의 정확도를 높입니다. 또한, 고효율 공랭식 냉각기는 웨이퍼 스테퍼를 최적의 온도에서 작동시켜 에너지 소비를 줄이고 수명을 연장시킵니다. NIKON NES1 H04 는 직관적이고, 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스로 제어되며, 다양한 애플리케이션의 신속한 탐색 및 처리를 지원합니다. 또한 GDS, CIF 및 DXF를 포함한 다양한 디자인 형식을 지원합니다. 이 장치는 또한 통계적 데이터 (statistical data) 를 실시간으로 수집할 수 있으며, 사용자가 가장 최적화되고 일관된 결과를 얻기 위해 정보 설정 (informed setup) 조정을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NES1-H04 웨이퍼 스테퍼는 매우 정확하고 복잡한 집적 회로를 만드는 데 완벽한 도구입니다. 효율적인 냉각 시스템과 결합된 고급 옵틱 (optic) 및 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 VLSI 및 ULSI 회로 생산에 귀중한 도구입니다.
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