판매용 중고 NIKON NES1 H04 #9356064

NIKON NES1 H04
ID: 9356064
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 2011
Mini stepper, 4" 2011 vintage.
NIKON NES1 H04는 웨이퍼 스테퍼로, 집적 회로 인쇄에 사용되는 photomask를 만드는 정확한 도구입니다. 이 장비는 사용자에게 매우 정확한 DCM (Digitally Controlled Mode) 스테퍼로 구성된 고해상도 노출 시스템을 제공하여 포토 마스크의 정확하고 반복 가능한 노출을 보장합니다. NIKON NES1-H04는 강력한 8.4 미크론 마이크로 초점 광학을 사용하여 +/-1.5um의 정확도와 +/-3um의 반복 가능성을 통해 0.5 미크론의 전체 해상도를 제공합니다. 또한 0.2 미크론의 정밀도를 제공하는 혁신적인 서브 필드 레벨 스테퍼를 갖추고 있습니다. 0.5 초의 단계 및 반복 시간을 통해 대부분의 대용량 인쇄 환경에서 빠르고 중단되지 않은 작업을 수행할 수 있으며, 통합된 REC (Repeatability Error Compensation) 기술은 리소그래피 작업을 더욱 향상시킵니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 샘플 무결성 및 위치 정확도를 모니터링하기위한 매우 민감한 CCD (charge-coupled device) 카메라를 자랑합니다. 이 CCD 카메라는 초당 10 프레임의 프레임 속도로 12.3 메가 픽셀 (Megapixel) 해상도의 CCD를 사용하여 포토 마스크 제작 중 표본을 자세히 분석 할 수 있습니다. 또한, 이 장치 는 특별 한 독점 "챔버 '설계 를 포함 하여" 가스' 흐름 을 특정 한 환경 에 맞게 조정 하는 한편, 균일 한 밀봉 압력 을 보장 한다. 이를 통해 사용자는 부분 노출 (Partial Exposure) 과 같은 다양한 애플리케이션에 맞게 시스템을 쉽게 조정할 수 있습니다. 이러한 기능은 오브젝티브 렌즈 자동 초점 (objective lens autofocus), 자동 제로 (auto-zeroing) 및 자동 레티클 중심 (auto-reticle centering) 을 포함하여 정확한 정렬 및 초점을 위해 자동화된 다양한 작업입니다. 이러한 스마트 기능을 통해 사용자는 최소한의 노력으로 최적의 노출을 위해 웨이퍼를 정확하게 포지셔닝할 수 있습니다. 전체적으로 NES1 H04 는 탁월한 리소그래피 (lithography) 결과를 얻을 수 있는 고급 기능을 제공하여, 사진 마스크 제작 시간과 비용을 대폭 줄이고, 사용자에게 최고 수준의 성능과 안정성을 제공합니다.
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