판매용 중고 NIKON MX-61 #9131852

NIKON MX-61
제조사
NIKON
모델
MX-61
ID: 9131852
Automatic inspection system.
NIKON MX-61은 와퍼 처리 응용 프로그램에 최적의 성능을 제공하기 위해 설계된 최첨단 스테퍼 장비입니다. 이 기계는 매우 정확한 위치 지정 시스템, 고정밀 모터, 매우 부드러운 동작 (motion and rotation) 을 가진 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 를 갖추고 있습니다. MX-61 (MX-61) 은 또한 웨이퍼 (Wafer) 및 생산 프로세스를 정확하게 정렬하기 위해 장치를 지속적으로 모니터링하고 위치를 조정하는 자동 단계 추적 시스템을 갖추고 있습니다. 니콘 MX-61 (NIKON MX-61) 은 정밀 정렬 및 방향이 가능하며, 스테이지에서 4 개의 지정된 지점 사이에서 와퍼를 빠르고 정확하게 이동 할 수 있습니다. 이 기계에는 최소 단계 크기가 10 미크론이고 최대 속도가 1,000 mm/s (1.1m/s) 인 단일 단계 XY 스테이지 드라이브 머신이 장착되어 있습니다. 또한 10 나노미터 미만의 반복 가능성으로 높은 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. MX-61 은 또한 정렬 (Alignment), 크기 (Size) 와 같은 고려 요소를 사용하면서 웨이퍼의 결함을 감지할 수 있는 고급 이미징 툴을 갖추고 있습니다. NIKON MX-61은 시간을 절약하고 운영 효율성을 높이도록 설계된 완전 자동화 자산입니다. 이 모델은 사용이 간편하며, 사용자에게 친숙한 운영 인터페이스를 제공합니다. 또한 다양한 진단 기능 (Diagnostic Function) 과 가상 엔지니어링 툴 (Virtual Engineering Tools) 을 통해 성능 및 신뢰성을 최적화하기 위해 설정 및 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 인력을 모든 위험 요소로부터 보호하기 위해 설계된 통합 안전 장비 (Integrated Safety Equipment) 도 포함되어 있습니다. MX-61에는 고정밀 진공 웨이퍼 처리 시스템과 다양한 고해상도 카메라가 장착되어 있습니다. 또한 고성능 렌즈, 2 축 미러 스테이지 및 고속 데이터 어레이 피커도 포함됩니다. 또한 photomask 및 IC와 같은 다양한 웨이퍼와 호환되도록 설계되었습니다. 또한 단일/다중 웨이퍼 (wafer) 작업을 수행할 수 있으며 광학 측정 장치 (optical measuring devices), 이미징 시스템 (imaging system) 등 다양한 기기와 통합될 수 있습니다. 전반적으로 NIKON MX-61은 웨이퍼 처리 응용 프로그램을위한 업계 표준 스테퍼 장치입니다. 고급 기능과 생산성을 갖춘 MX-61 은 탁월한 솔루션으로, 웨이퍼를 효율적이고 정확하게 생산할 수 있습니다. 또한 속도, 정확성 측면에서 최적의 성능을 제공하도록 설계되어 대용량 (high-volume) 운영 환경에 이상적인 솔루션입니다.
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