판매용 중고 NIKON i9 #293797470

NIKON i9는 세계 최대 석판 장비 제조업체의 몰입 형, 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 업계 최고의 머신은 고급 프로세스에 이상적인 플랫폼으로, 트랜지스터 설계에 도전하는 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. NIKON I 9는 최신 세대의 TTL Laser Interferometer, Integral Vibration Reduction 및 Edge Enhancement 기술을 갖춘 다른 스테퍼보다 높은 단계입니다. I9에는 5X5 인치 (5X5 인치) 작업 영역이 있으며, 뒷면 리소그래피 및 패턴화에 이상적인 다양한 해상도를 제공합니다. 물속 (immersion) 과 오일 몰입 (oil-immersion) 을 포함한 최신 웨이퍼 처리 기술과 결합 된 우수한 해상도와 정확도는 0.1 미크론 미만의 초미세 선 너비를 생성 할 수 있음을 의미합니다. 통합 진동 감소 (Integrated Vibration) 기능을 통해 I 9 는 현재 시장에서 가장 안정적이고 정확한 도구 중 하나입니다. 이 장비는 다양한 고급 확장성 (Expandability) 및 프로세스 제어 기능으로 설계되었습니다. 자동 가장자리 향상 (Automatic Edge Enhancement) 및 자동 레이저 전원 제어 (Automatic Laser Power Control) 와 같은 여러 전용 노출 모드를 사용하면 정확한 노출 제어를 수행할 수 있습니다. 따라서 패턴을 정확하고 빠르게 복제할 수 있습니다. 이 시스템에는 먼지 입자 및 기타 오염 물질로부터 광학을 보호하는 자동 노출 소스 차단 (automatic exposure source shut-off) 기능이 포함되어 있습니다. 또한 NIKON i9는 더 나은 패턴화 및 노출 제어를 위해 최적화된 지능형 레이아웃 (layout) 장치를 갖추고 있습니다. 노출 필드는 4 ~ 9 개의 작은 부품으로 나눌 수 있으며, 다양한 모양, 크기 및 노출 레시피를 쉽게 제어할 수 있습니다. [노출 필드 최적화 도구] 는 처리량을 최대화하여 수동 최적화의 필요성을 최소화합니다. NIKON I 9의 소프트웨어 아키텍처에는 PEC (Predictive Exposure Control) 라는 강력한 이미지 생성 및 노출 제어 소프트웨어가 포함되어 있습니다. PEC는 웨이퍼 (wafer) 처리를 단순화하고 모든 프로세스 매개변수에 대한 내장 모니터링을 제공하여 품질 관리 피드백을 제공합니다. 유연한 유지보수 머신을 사용하면 신속하고 쉽게 공구를 수리하고 유지 관리할 수 있습니다. I9 는 강력하고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 스테퍼로서, 고급 반도체 프로세스의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 최신 프로세스 제어 도구와 결합된 탁월한 해상도, 정확도, 확장성 (expandability) 으로, 뒷면 리소그래피 및 패턴화에 적합한 완벽한 자산입니다.