판매용 중고 NIKON i9 #139030

NIKON i9는 고정밀, 최고급 포토 리토 그래피 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것 은 "포토마스크 '에서 집적회로 의 주성분 인 반도체" 웨이퍼' 로 "패턴 '을 전달 하는 데 사용 된다. 스테퍼는 동기화 메커니즘에서 작동하여 패턴 전송에서 높은 정밀도, 반복 성을 제공합니다. NIKON I 9에는 최첨단 몰입 렌즈와 고급 조명 광학 세트가 장착되어 있습니다. 유체 (fluid) 나 가스 (gas) 와 같은 침수 미디어의 사용은 높은 해상도와 뛰어난 이미징 성능을 가능하게 합니다. 이것 은 "렌즈 '수치 의 큰 조리개 장비 를 가지고 있어서, 뛰어난 수심 을 제공 하면서 고해상도 인쇄 와 중첩 의 정확성 을 제공 한다. 레이저 간섭계 (laser interferometry) 에 기반한 통합 도량형 시스템 (integrated metrology system) 은 사용자가 기계에서 웨이퍼를 제거하지 않고도 스테퍼에서 최종적으로 인쇄 된 패턴을 측정할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 중에 발생할 수 있는 웨이퍼 (wafer) 수준의 결함을 빠르고 쉽게 감지할 수 있습니다. 스테퍼는 샘플 지원을 제공하는데, 샘플 지원은 기판 단계 (substrate stage) 와 마스크 단계 (mask stage) 의 두 단계로 구성됩니다. 기판 및 마스크 스테이지에는 움직임을 감지하기위한 광학 센서가 장착되어 있으며, 복잡한 선형 모터 (linear motor) 와 정밀 인코더 (precision encoder) 네트워크로 연결 및 제어되어 매우 정확하고 반복 가능한 움직임을 제공합니다. 또한 I9 에는 자동 초점 장치 (auto focus unit) 가 있어 자동으로 웨이퍼 평면을 결정하고 포커스를 유지합니다. 따라서 수동 조정이 필요 없으며 운영 처리량을 향상시킬 수 있습니다. I 9는 직관적이고 사용자에게 친숙한 PC 기반 제어 시스템 (매개변수 미세 조정, 노출 후 도구의 실시간 모니터링, 오류 감지 기능 등) 에서 실행됩니다. 수많은 안전 프로토콜 (Safety Protocol) 과 테스트 절차를 통해 높은 내구성과 긴 수명 성능을 보장했습니다. 이는 오랜 기간 동안 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다. 전반적으로 NIKON i9는 뛰어난 이미징 성능, 실시간 모니터링 기능, 자동 초점, 통합 도량형 기능을 갖춘 첨단 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 집적 회로의 정밀 생산을위한 귀중한 도구이며, 극도의 정확성과 반복 성을 제공합니다.