판매용 중고 NIKON i8 #9144952
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NIKON i8 Wafer Stepper는 완전히 자동화 된 고정밀 석판화 장비입니다. 이 최첨단 머신 (state-of-the-art machine) 은 고급 반도체 칩 및 단단히 정의된 현미경 기능이 필요한 기타 장치를 생산하는 데 이상적입니다. NIKON I 8은 고속, 저렴한 리소그래피를 제공하도록 설계되었습니다. 혁신적인 원피스 탄소 섬유 베이스와 경량 진공 척이 특징입니다. 이것은 최소화 된 진동, 우수한 웨이퍼 평평 및 우수한 웨이퍼 스테핑 정확도를 보장합니다. 이 시스템은 0.8 미크론에서 0.1 미크론까지 해상도를 제공 할 수 있으며, 최대 스테퍼 정확도는 3 미크론입니다. 이것은 미세 피치 레이저 스캔 거울과 고정밀 스테이지 이동으로 활성화됩니다. I8에는 10X 배율 현미경과 4 각도 조명이 내장되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 칩 (chip) 기능에 대한 정확도가 높은 정렬 및 모니터링을 수행할 수 있고, 웨이퍼 (wafer) 검사를 개선하는 이미지 스트리밍 솔루션도 제공할 수 있습니다. 스테퍼는 손쉬운 웨이퍼 로딩을위한 전동 정렬 식 (pre-aligner) 과 다양한 조명 옵션 (예: UV 및 KrF) 을 갖춘 고도로 적응 가능한 웨이퍼 스테퍼로 매우 유연합니다. 따라서 제조업체에게는 특정 요구에 맞게 기계를 조정할 수 있는 자유가 있습니다 (영문). 이 도구에는 직관적인 운영 자산이 있으며 포괄적인 자동화 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 이는 노출, 스테이지 이동, 웨이퍼 방향 및 웨이퍼 처리와 같은 하위 시스템을 제어합니다. I 8 Wafer Stepper는 비용 효율적인 고정밀 석판화를위한 완벽한 솔루션입니다. 혁신적인 기능, 탁월한 정확성, 사용자 친화적 운영 기능을 통해 고급 반도체 (Semiconductor) 및 장치 제조업체에게는 탁월한 선택이 가능합니다.
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