판매용 중고 NIKON i8 #9068878

NIKON i8은 NIKON Corporation에서 개발 한 정밀 웨이퍼 스테퍼 정밀 리소그래피 이미징 장비입니다. 아이라인 시리즈 스텝 퍼의 최신 시스템입니다. 고급 프로세스 개발 (Advanced Process Development) 을 위한 이상적인 툴을 제공하기 위해 여러 기술과 기능의 통합을 지원합니다. 이 스테퍼에는 지속적인 평가판 및 개선 학습을 제공하는 완전 자동화 플랫폼이 있습니다. 독자적인 심해 (deep-submicron) 정렬 기술인 NEXIV (NEXIV) 와 같은 여러 가지 고급 기술을 통합하여 높은 인쇄 정확도를 보장합니다. NIKON 독점 ACCUPHASE 처리 기술 및 다차원 노즐 제어 기술은 뛰어난 석판화 성능에 기여합니다. 이 장치의 STEM은 고해상도 공기 역학적으로 구동되는 반사 광학을 사용하여 세계적 수준의 이미징 성능을 제공합니다. 이 기계는 패턴 진동을 줄이기 위해 다중 필드 중첩 노출을 가능하게하는 고급 프레임 이미징 도구 (Advanced Frame Imaging Tool) 를 갖추고 있습니다. 고급 1x 레티클 검사 (reticle inspection) 기능은 샘플 스팟이 원래 웨이퍼에 정의된 패턴과 일치하도록 합니다. 고급 광학 자산은 또한 높은 정확도의 iTDR (Two-Dimensional Registration Model) 을 제공하며 펠리클 모양 제어를 위해 고해상도 및 저왜곡 광학 장비를 제공합니다. 또한 시스템은 Predictive Pattern Measurement Tool, Data Retrieval Tool 및 Process Audit Tool과 같은 다양한 강력한 소프트웨어 도구를 갖추고 있습니다. 패턴 측정 도구 (Pattern Measurement Tool) 를 사용하면 배치 데이터를 캡처하고 오버레이와 드리프트 트렌드를 보고 웨이퍼 왜곡을 분석할 수 있습니다. 데이터 읽어들이기 도구 (Data Retrieval Tool) 를 사용하면 처리 중에 생성된 차트에서 웨이퍼 특성 데이터를 수집할 수 있습니다. 프로세스 감사 도구 (Process Audit Tool) 를 사용하면 여러 시스템과 프로세스의 데이터를 모니터링하여 품질 보장을 보장할 수 있습니다. 이 장치의 강력한 컨트롤러와 소프트웨어는 효율성을 극대화하고, 다른 스텝퍼에 비해 최대 3 배나 빠른 장비 작동을 가능하게 합니다. 이 기계는 또한 빠른 이동과 웨이퍼 인쇄 배치를위한 공동 정렬기를 제공합니다. 또한, 이 도구는 도량형 애플리케이션의 경우 대부분의 레이저 수준과 호환되며, 광범위한 애플리케이션의 경우 백엔드 프로세스와 호환됩니다. NIKON I 8은 고급 석판화 응용 프로그램을위한 최첨단 기술 자산입니다. 탁월한 이미징 성능과 빠른 처리 시간 (turnaround time) 을 제공하는 강력한 하드웨어 및 강력한 소프트웨어 도구를 제공합니다. 이 모델은 경제적이고 효율적인 리소그래피 프로세스에 완벽한 도구입니다.