판매용 중고 NIKON i8 #293807130

NIKON i8
제조사
NIKON
모델
i8
ID: 293807130
웨이퍼 크기: 12"
Stepper, 12".
NIKON i8은 반도체 처리 및 마이크로 가공에 사용되는 웨이퍼 스테퍼의 일종입니다. 미세 패턴화를 위해 빠르고 정확한 비접촉 직접 쓰기 (direct-contact) 노출 장비를 갖추고 있습니다. NIKON I 8은 매우 작은 선 간격과 정확한 정렬로 회로 패턴을 생성 할 수있는 특별히 설계된 포토 마스크 암과 함께 Opt-Lite 단계를 사용합니다. "스테이지 '는 0.5" 미크론' 의 증가 로 움직 일 수 있으며, 이 로 인하여 정밀도 가 높은 복잡 한 "마이크로피처 '를 만들 수 있다. I8은 0.2mW ~ 100mW 범위의 가변 레이저 전원을 갖는 다중 형식의 레이저 다이오드로 구동됩니다. 이 시스템은 또한 다양한 선 너비의 패턴을 달성하기 위해 다양한 듀티 사이클 (duty cycle) 과 다양한 펄스 너비 (pulse width) 를 가지고 있습니다. 가변 높이 포커스 컨트롤을 사용하면 높이가 다른 패턴을 만들 때 매우 정밀도가 높습니다. 매우 정확한 노출 장치 외에도 I 8 (I 8) 에는 처리 시간 향상을 위해 새로운 냉각기가 있습니다. TEC-280 냉각 도구는 웨이퍼를 초당 0.5 ° C 까지 냉각시켜 열 왜곡 및 초점 이동을 제거하도록 설계되었습니다. 스테이지에는 최고 가열 척 (chuck) 이 있으며, 이는 정전지로 인한 진동을 최소화하는 데 도움이됩니다. NIKON i8에는 초당 10,000 개의 레이저 스팟 또는 포인트를 생성 할 수있는 초고해상도 갈바노미터 스캐너가 있습니다. 새로운 회전 디스크 (spinning disc) 가 장착되어 있어 800 rpm에서 계속 회전할 수 있으며, 각 연속 샷마다 초점 렌즈가 제거됩니다. 이 기능을 사용하면 노출 프로세스에 소요되는 시간을 줄일 수 있습니다. NIKON I 8은 전용 소프트웨어 및 하드웨어로 매우 정교하고 정확한 기능을 만드는 데 이상적입니다. 이 자산은 완전히 자동화된 정렬 (Alignment) 프로세스를 통해 추정 작업을 패턴화하지 못하고 설정 시간을 대폭 단축합니다. 또한 학습과 사용이 간편한 대화형 사용자 인터페이스 (Interactive User Interface) 를 제공합니다. I8은 미세 패턴화 및 소액화를 위해 안정적이고 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 기능, 기능을 통해 모든 운영 제품군에 완벽하게 추가할 수 있습니다. 레이저 다이오드, 가변 듀티 사이클, 가변 높이 초점 제어 및 TEC-280 냉각 모델을 통해 I 8은 정확성과 속도로 고급, 복잡한 마이크로 피어처를 만드는 데 적합합니다.
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