판매용 중고 NIKON i8 #293797469

NIKON i8
제조사
NIKON
모델
i8
ID: 293797469
Stepper.
NIKON i8 웨이퍼 스테퍼는 작은 로트 크기, 실험, 프로토 타입, 대형 웨이퍼 배치 등을 처리 할 수있는 고성능 석판화 장비입니다. 반도체 장치, 디스플레이 제조, MEMS 장치 등 다양한 microfabrication 애플리케이션을 위해 설계되었습니다. NIKON I 8은 매우 자동화되어 있고, 사용자 친화적이며, 쉽게 작동하고 안정적인 성능을 제공합니다. I8 은 8 인치 (Telecentric) 렌즈의 강력한 투사 시스템을 활용해 조명광학에 집중된 빔을 제공하여 뛰어난 화질을 제공합니다. 또한 15mm 길이의 작업 거리가 특징이며, 구형 기울어진 미세 구조에 이상적입니다. I 8 은 여러 개의 정렬 마크를 지원하는 자동 정렬 (Automatic Alignment) 과 최대 4 배 속도를 지원하는 고속 스캔 모드를 제공합니다. NIKON i8은 유연하고 상호 교환 가능한 마스크 전송 메커니즘을 가지고 있어 대형 마스크 (large mask) 와 소형 마스크 (small mask) 를 모두 사용할 수 있습니다. 마스크 전송은 다중 웨이퍼 노출이 가능한 추가 턴테이블 (turntable) 장치로 구성 될 수 있습니다. 또한 NIKON I 8의 광 마스크 처리 기는 다양한 마스크 유형을 지원합니다. I8은 직접 전자 빔 (electron-beam) 노출에서 광범위한 패턴 CAD 형식에 이르기까지 광범위한 노출 옵션을 가지고 있습니다. 16 그레이 (grey) 에서 400 그레이 (gray) 까지의 노출 된 용량에 대한 저항을 지원하며 수율을 희생시키지 않고 처리 속도를 가속화하는 높은 처리량 모드도 포함합니다. 그 외에도 I 8에는 높은 정확도 패턴 등록 도구가 있습니다. 정확도가 높은 등록 자산은 서브 미크론 범위에서 위치 정확성을 보장합니다. 이미지 처리 기능 외에도, NIKON i8 은 탁월한 프로세스 제어 및 데이터 수집 옵션을 제공합니다. 이 기계는 10 단계의 모터 제어, 데이터 획득 기능이 내장된 실시간 이미지 품질 모니터링 모델, 품질 및 프로세스 제어 기능을 제공하는 EXCEL (Embedded Process Controller) 을 제공합니다. 전반적으로 NIKON I 8 웨이퍼 스테퍼는 뛰어난 이미징 기능, 유연한 마스크 처리, 효율적인 프로세스 제어를 제공하는 고급 장비입니다. i8 의 경우, 사용자는 고속 이미징을 달성할 수 있을 뿐만 아니라, 뛰어난 정확도와 제어를 통해 프로세스를 제어할 수 있습니다.
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