판매용 중고 NIKON i8 #293652750

NIKON i8은 NIKON의 웨이퍼 스테퍼로, VLSI 회로 및 MEMS 장치 생산에 사용되는 매우 정확하고 높은 처리량 리소그래피 장비입니다. 이 시스템은 6 인치 (motion-stabilized) 광학 플랫폼을 기반으로하며 고급 노출 기능을 위해 침수 노출 렌즈를 사용합니다. 병렬 트랙 동작 선형 스테이지, 와이드 필드 줌, 고속, 고속 초점 드라이브 등 고급 이미징 장치를 사용합니다. 노출 능력은 1mJ/cm2에서 50mJ/cm2 (해상도 7nm) 로 모든 고급 노출 애플리케이션 요구 사항에 적합합니다. NIKON I 8은 오늘날 시장에서 사용할 수있는 가장 고급 웨이퍼 스테퍼 디자인을 생산할 수 있습니다. 고급 설계 기능은 병렬 노출을 지원하며 석판 위치 정확도가 좋습니다. 광학 왜곡 보정 (optical distortion correction) 의 조합을 사용하여 해상도 및 정확도를 향상시킬 수도 있습니다. 이 기계는 반미크론 (half-micron) 해상도와 속도의 빠르고 정확한 마이크로 스테핑을 위해 고정밀 모션 제어 시스템으로 제작되었습니다. 이 도구는 또한 고밀도 스티칭 (stitching) 및 최고 충실도 세그먼트 (fidelity segmenting) 와 같은 많은 소프트웨어 패키지를 통합하여 뛰어난 해상도, 정확도 및 반복 성을 보장합니다. 또한 이 자산은 프로세스 모니터 (Process Monitor) 와 같은 혁신적인 도구를 통합합니다. 즉, 균일성을 유지하기 위해 미리 정의된 매개변수에 따라 노출 설정을 자동으로 조정하고 웨이퍼를 처리하는 모니터입니다. I8 은 오늘날의 석판화 (lithography) 애플리케이션과 미래의 석판화 애플리케이션의 요구를 모두 충족하도록 설계되었습니다. 이 모델은 고급 광전자, 반도체, 의료 및 MEMS 장치 생산 요구에 이상적입니다. 또한, 이 장비는 신뢰성이 높고 비용 효율성이 뛰어나며, 신뢰할 수 있는 신뢰할 수 있는 석판화 (lithographic) 시스템이 필요할 때 매우 적합합니다.