판매용 중고 NIKON i7B #293797468
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NIKON i7B는 최첨단 반도체 웨이퍼 스테퍼로, 매우 고품질의 정확한 오버레이 등록을 위해 특별히 설계되었습니다. 스테퍼는 레이저 간섭계를 사용하여 높은 정확도 오버레이 등록 및 뛰어난 사진 마스크 정렬을 달성합니다. I7B 는 다양한 기능을 제공하므로 고급 석판화 (lithographic) 프로세스를 수행할 수 있습니다. 저소음 장비 설계를 통합하여 뛰어난 처리량을 제공하고 주기 시간을 단축합니다. 특허를받은 레이저 자동 초점 시스템은 뛰어난 오버레이 반복성과 wafer-to-wafer 등록 정확도를 제공합니다. 이 기계는 또한 멀티 존 (Multi-Zone) 프런트엔드 사전 정렬 장치를 장착하여 업계에서 가장 높은 정확도 반복 및 정렬을 가능하게 합니다. NIKON i7B는 100mm 이미징 영역과 고정밀 모터 드라이브 머신을 갖춘 스텝 앤 리피트 스캐너 (step-and-repeat scanner) 를 제공하여 스텝 앤 리피트 정확도를 향상시킵니다. 또한, 기계는 최고의 노출 제어를 위해 유연한 노출/해상도 설정을 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 BPSM (Binary Phase Shift Mask) 을 사용하여 기존 마스크 설계에 대한 해상도를 향상시킵니다. I7B는 200 년 이상의 MTBF (평균 실패 시간) 를 가진 신뢰성이 높은 기계입니다. 이 기계에는 인라인 모니터 (In-Line Monitor) 도 함께 제공되어 프로세스 전반에 걸쳐 지속적인 품질 관리 기능을 제공합니다. 고급 품질 관리 측정으로 NIKON i7B는 매우 높은 수율, 유지 (stay-on) 사양 및 서비스 수명 연장을 지원합니다. I7B는 혁신적인 반도체 웨이퍼 스테퍼로, 탁월한 정밀도, 품질 및 반복 성을 제공합니다. 고급 기능과 설계를 통해 고급 석판화 (lithographic) 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다. 최첨단 기술과 검증된 신뢰성 (안정성) 을 결합한 NIKON i7B 는 수년 동안 안정적으로 운영되고 반도체 업계에서 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.
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