판매용 중고 NIKON i7A #293764351

NIKON i7A는 반도체 제작 및 고급 웨이퍼 처리 응용 프로그램에 사용되는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 강력한 NIKON 광학 프로젝션 시스템, 고급 검사 기능, 다양한 리소그래피 (lithography) 프로세스를 지원하는 적응식 플랫폼 (Adaptable Platform) 을 통합 한 통합 패턴 프로젝션 장비입니다. I7A 는 높은 처리량, 높은 패턴 반복성, 높은 프로세스 유연성을 제공하여 경제적이고 신속한 집적 회로 (integrated circuit) 생산이 가능합니다. 니콘 i7A (NIKON i7A) 는 프로그래밍 가능한 레이저 투영 장치를 사용하며, 표준에서 복잡한 사용자 정의 패턴까지 다양한 레티클을 수용하도록 구성할 수 있습니다. "레이저 '투영기 는 효율적 인" 프로그래밍' 을 할 수 있도록 선형 순서 로 최대 8 개 의 "레티클 '을 받아들이도록 구성 할 수 있다. 따라서 단일 웨이퍼 스캔에서 여러 패턴 레이어를 정확하고 효율적으로 처리할 수 있습니다. i7A의 고정밀도 광학 도구는 정확한 패턴 배치 및 향상된 리소그래피 성능을 보장합니다. NIKON i7A 의 고급 검사 기능을 사용하면 자동 결함 감지 (automated defect detection) 뿐만 아니라 패턴 및 오버레이 정확도를 빠르고 쉽게 확인할 수 있습니다. 검수소 (Inspection Station) 는 자산에 통합되어 체계적인 결함 및 초점 오류를 파악하고, 별도의 웨이퍼 검사 모델은 패턴에 대한 고해상도 (high-resolution) 및 전체 필드 광학 검사 (full-field optical inspection) 를 제공할 수 있습니다. 자동 결함 검사 (automated defect inspection) 및 비닝 (binning) 기능을 사용하면 웨이퍼 처리 시 발생할 수 있는 고가의 치명적인 오류를 방지할 수 있습니다. I7A 는 석판화 프로세스 (lithographic process) 와 도량형 (metrology) 의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 견고한 장비입니다. 일체형 독점 "컨트롤 '장치 는 정밀 한" 웨이퍼' 이동 을 보장 하는 데 사용 되고 "패턴 '투영 장치 는 다양 한 두께 와 복잡성 의" 웨이퍼' 에 대한 초점, 확대, 노출 을 정확 하게 조정 하도록 계획 되어 있다. 기계는 다양한 레티클 크기와 모양을 수용 할 수도 있습니다. NIKON i7A (Automatic Alignment of Wafer), 여러 웨이퍼 처리 (Multiple Wafer Handling by Robot 또는 Manual Insertion) 등 다양한 고급 생산성 기능이 포함되어 있습니다. 따라서 다른 시스템과 비교하여 프로세스 안정성, 높은 수율, 빠른 처리 시간을 보장할 수 있습니다. 이 도구를 사용하면 최대 50 가지의 프로세스 레시피를 기억할 수 있으며, 이를 신속하게 검색하고 업데이트하여 집적 회로 (integrated circuit) 를 신속하게 생산할 수 있습니다. I7A (Advanced Productivity) 기능, 강력한 광 투사 자산, 정교한 검사 기능을 결합하여 유연하고 경제적인 플랫폼을 제공하여 다양한 Wafer Processing 애플리케이션을 지원합니다. 이 제품은 정확하고 반복 가능한 석판화 (lithography) 성능과 반도체 제작의 생산량을 높여 집적 (integrated) 회로 제조업체에 유용한 툴이 됩니다.