판매용 중고 NIKON i7 #9185650

NIKON i7은 최첨단 옵티컬 웨이퍼 스테퍼입니다. BEOL (back-end-of-line) 프로세스 응용 프로그램을 포함하여 광범위한 노출 범위를 통한 리소그래피가 가능합니다. NIKON I 7에는 NIKON 혁신적인 B 시설 지향 표준 출력 G-MAP 이진 데이터 형식뿐만 아니라 높은 정확도 등록을 제공하는 새로운 NIKON MAPS III (Multi-Projection Alignment Equipment III) 레티클 정렬기가 장착되어 있습니다. I7은 4 플레이트 고감도 슬릿 필드 이미지 센서를 갖추고 있으며, 동시에 1 픽셀 정렬이 가능합니다. 또한 I 7은 혼수 수차를 줄이기 위해 4 요소 렌즈 시스템이있는 새로운 Active-AOM (Auxiliary Objective Module) 을 사용합니다. 이 모듈은 필드 균일성과 선명도를 크게 높입니다. 또한 NIKON 고성능 스테이지 유닛은 스테이지 이동 시간을 줄여 시스템 처리량을 향상시킵니다. 이 모든 것은 sacfrfig percision없이 달성됩니다. NIKON i7의 고급 Diamond-Torque 스테이지는 나노 미터 위치 정밀도와 최대 100 m/sec2의 가속을 수행 할 수 있습니다. 고정밀도 스테이지는 노출 윈도우 내내 안정적이고 일관된 이미징 성능을 제공합니다. NIKON I 7은 또한 서브 나노 미터 디스플레이 정확도와 1nm 피치 패턴 인식을위한 새로운 고정도 전자 곱셈 CCD (EM-CCD) 를 특징으로합니다. 이 EM-CCD는 마이크로 스루 홀 (micro through-hole) 및 스루 컨택트 정렬 (through-contact alignment) 과 같은 응용 프로그램에 매우 안정적이며 패턴이 좁은 응용 프로그램에도 사용할 수 있습니다. 또한 지능형 패턴 일치 기능인 NIKON SPTS (Shutter Process Tool Software) 는 강력한 프로세스 모니터링을 위해 측정된 횡단면 데이터와 CAD 데이터를 정확하게 비교합니다. 이를 통해 프로세스 균일성, 추적성을 완벽하게 제어할 수 있으며, 실시간으로 프로세스 최적화를 수행할 수 있습니다. NIKON 디자이너들은 i7의 인체 공학에 특별한 관심을 기울였습니다. I 7은 손쉬운 운영, 도구 액세스 및 유지 보수로 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 마지막으로, 공구는 진동 및 소음 감쇠를위한 고밀도 차폐로 내구성 스테인리스 스틸 (stainless-steel) 구조로 덮여 있습니다. NIKON i7 (NIKON i7) 은 생산 프로세스 애플리케이션뿐만 아니라 연구 개발을위한 고급, 정확하고 안정적인 도구입니다.