판매용 중고 NIKON i7 #9068879

NIKON i7
제조사
NIKON
모델
i7
ID: 9068879
웨이퍼 크기: 5"
Steppers, 5".
NIKON i7은 고급 180nm 노드 및 리토 그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 초고해상도 패턴 생성 장비는 66 초의 전체 주기 시간에 1.2 회선/공간 패턴 및 200nm 직경 접촉 구멍을 달성합니다. 독보적인 1.2 배의 감소 (reduction) 옵틱과 첨단 조명 시스템은 길고 안정적인 운영 수명, 높은 안정성과 결합됩니다. 이러한 기능의 조합으로 NIKON I 7은 대용량, 비용 효율적인 리소그래피 생산에 이상적인 솔루션이 됩니다. I7은 6축 단위로, 마스킹 정렬 및 실행을 효율적으로 수행할 수 있습니다. 강력한 기계적 설계는 장기적인 운영을 보장하며 높은 정확성과 이미지 재현성을 유지합니다. 많은 수의 정렬 마크를 사용하는 초고속 자동 정렬 장치 (Ultra Fast Auto Alignment Machine) 는 정확한 정렬을 달성하는 데 필요한 시간을 최소화합니다. 다재다능한 자동 중단 도구 (Auto-Aborting Tool) 를 통해 포토 esist 처리 중 빈번한 검사를 통해 최적의 노출 만 생산에 사용할 수 있습니다. 스캔 (scan) 모드와 스텝 (step) 모드와 반복 (repeat) 모드의 조합으로 I 7은 칩에서 웨이퍼까지 다양한 광학 장치 크기의 생산에 이상적인 선택입니다. 전력 소비량이 낮고, 설치 공간이 줄어들어 설치 공간 관리가 줄어들고, 에어컨 효율이 향상됩니다. 기존 레티클 (reticle) 과 포토리스 처리 시스템 (photoresist processing system) 과 호환되므로 광범위한 메모리와 코드 재보정 없이 리소그래피 자산을 통합 할 수 있습니다. NIKON i7은 또한 탁월한 환경 보호 기능을 제공합니다. 내장 오존 처리 장치는 노출 과정에서 방출 된 초저농도 오존 (ozone) 및 기타 가스를 필터링하여 안전한 작업 환경을 보장합니다. 꽃잎 셔터 설계를 통해 레티클에서 웨이퍼 (wafer) 까지 빛 누출을 예방할 수 있으며, 민감한 노출이 유지됩니다. 이 모델은 또한 소음 및 진동을 줄이기 위해 진동 방지 (anti-vbration) 장비와 운영자를 보호하기 위해 자동 안전 인터 (safety interlocking door) 를 제공합니다. 전반적으로 NIKON I 7은 안정적이고 비용 효율적인 웨이퍼 스테퍼로, 고급 석판화 처리를 위해 설계되었습니다. 다용도 기능의 조합을 통해 광학 장치 (optical device) 의 대용량 생산에 이상적인 선택이 가능하며, 효율적인 작동과 장기적인 신뢰성을 제공합니다.
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