판매용 중고 NIKON i7 #293628329
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NIKON i7은 집적 회로 장치의 생산을 개선하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 웨이퍼 스테퍼는 정확한 이미징, 정확한 정렬, 정확한 비접촉 사진 정렬 프로세스를 효율적으로 전달하도록 설계되었습니다. 이 기계는 반도체 제작 프로세스를 단순화하고 장치 기능의 정확성과 재현성을 향상시킵니다. NIKON I 7은 높은 배율 광학, 디지털 인코더 및 모션 컨트롤의 조합을 사용하여 경쟁 솔루션에 비해 해상도와 반복성이 크게 향상되었습니다. 노출 시간이 짧고 속도가 빠르므로 운영 환경에 이상적입니다. X, Y 및 Z 축의 동력 단계는 이미징 평면을 정확하게 제어합니다. X, Y 및 Z 축은 브러쉬없는 DC 모터를 사용하여 구동되는 반면, Z-Achromat 목표는 광범위한 배율을 제공하고 원하는 높이에 따라 이미징 평면을 자동으로 조정합니다. 이 기계는 또한 고급 프레임 전송 시스템 (advanced frame transfer system) 을 갖추고 있어 많은 수의 프레임을 정확하고 빠르게 캡처할 수 있습니다. 이 시스템은 다른 기판의 레이어 (layers) 간에 원활한 전환을 보장하며, 큰 기판을 노출시킬 때 높은 수준의 정확도를 제공합니다. I7은 또한 높은 NA 포토리스 스틱 (High NA photoresist) 과 협력 할 수 있으며, 우수한 해상도와 정확도는 높은 수준의 정확도가 필요한 응용 분야에 제공됩니다. 또한, 측정 (measurement) 과 기판 (substrate) 에 중점을 둘 때 사용될 수 있으며, 제조 프로세스를 수행 할 때 정확한 제어가 가능합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 동작 성능, 동작 시스템의 정확성 및 광학 성능을 분석하는 여러 진단 도구가 있습니다. 게다가, 그것 은 "로보틱 암 '을 통합 하여" 반도체 웨이퍼' 를 효율적 으로 적재 하고 하역 시켜서, 전체적 인 처리량 을 증가 시키고 전체 과정 을 더욱 간단 하게 한다. 결론적으로, I 7 웨이퍼 스테퍼는 정확하고 정확한 이미징, 정렬 및 사진 정렬 프로세스를 제공하도록 설계된 최첨단 기계입니다. 높은 NA 포토레스 (photoresist) 와 함께 작업할 수 있으며, 전반적인 성능과 정확도를 향상시키는 고급 진단 도구를 갖추고 있습니다. 또한, 통합 로봇 암은 제조 공정의 처리량을 단순화하고 증가시킵니다.
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