판매용 중고 NIKON I6 #9144950

NIKON I6은 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치에는 고급 장비 아키텍처 (Advanced Equipment Architecture), 고정밀 작동, 다양한 기능, 특히 광학 기능이 있습니다. I6의 XY 스트로크는 25mm입니다. 이를 통해 리소그래피의 성공에 필수적인 높은 정확도 처리가 가능합니다. 또한, NIKON I6은 자동 초점 기능 및 웨이퍼의 다른 지점 간의 높이 차이에 대한 보상 메커니즘을 갖춘 높은 정확도 폐쇄 루프 (closed-loop) 시스템을 가지고 있습니다. 또한 I6 (I6) 은 3 차원 표면 감지 장치를 특징으로하여 웨이퍼 서피스에 기판을 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 이를 통해 리소그래피 프로세스의 정확성과 일관성을 보장할 수 있습니다. 또한 NIKON I6은 고정밀 이미징을 허용하는 비 축 투영 광학 장치로 제작되었습니다. 또한 자동 아트워크 일치 장치 (auto-artwork matching mechanism) 를 사용하여 photomask에 아트웍을 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이것은 노출의 정확성을 보장하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 도구는 노출 과정에서 드리프트를 처리하기 위해 정렬의 현장 내 (in-situ) 자동 교정을 포함합니다. I6의 optic은 광범위한 해상도를 지원하기 위해 제작되었습니다. 이 장치는 정확도와 정밀도가 높은 30nm 기능과 200 미크론 패턴을 처리 할 수 있습니다. 또한 NIKON I6의 플레이트 간 반복성은 ± 0.1nm입니다. 또한, I6은 정확한 측정 및 제어를 위해 다양한 센서와 컨트롤러로 제작되었습니다. 여기에는 마스크 및 웨이퍼의 정렬 정확도를 정확하게 측정 할 수있는 도량형 에셋 (metrology asset) 이 포함됩니다. "센서 '모형 은 인접 한" 패턴' 사이 의 중첩 된 면적 을 측정 할 수 도 있고 노출 후 의 "패턴 '을 분석 할 수 도 있다. NIKON I6은 석판화 응용 프로그램에 정확하고 정확한 결과를 제공하기 위해 설계된 강력하고 다양한 웨이퍼 스테퍼입니다. 첨단 장비 아키텍처, 고정밀 작동, 다양한 기능을 갖춘 I6 은 최신 반도체 리소그래피 (lithography) 프로세스에 사용할 수 있는 이상적인 장치입니다.