판매용 중고 NIKON I6 #293775851

NIKON I6은 탁월한 광학 성능, 처리량 및 비용 효율성을 제공하는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 고급 웨이퍼 스테퍼는 다양한 마이크로 리토 그래피 응용 프로그램에 이상적입니다. I6은 고급 투영 정렬을 사용하여 전체 웨이퍼 서피스에 균일성을 보장합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 고급 옵티컬 구성 요소가있는 고급 투영 노출 장비를 갖추고 있으며, 이를 통해 최적의 노출 광 전송이 가능합니다. 이는 높은 석판화 성능과 낮은 소유 비용을 보장합니다. 이 웨이퍼 스테퍼의 프로젝터 기능은 새로 설계된 대구경 이중 가우스 미러를 사용하여 높은 NA (Numerical Aperture) 및 고른 조명도 프로파일을 보장합니다. 또한 장거리 투사 광학이 향상되어 공간 제한 (space-limited) fabs까지 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 스테퍼에는 스테퍼 온/오프 (ON/OFF) 기능이 장착되어 다양한 챔버에서 스테퍼를 사용할 수 있습니다. 스테퍼 ON/OFF 기능을 사용하면 노출 균일성과 정확성을 손상시키지 않고 시동 시간을 단축할 수 있습니다. NIKON I6은 처리량 및 정밀도를 향상시키기 위해 완전하게 자동화된 웨이퍼 전송 시스템을 갖추고 있습니다. "웨이퍼 '따기 장치 는" 웨이퍼' 를 상자 에서 "스테퍼 '로 안전 하게 옮긴다. 또한, 양면 웨이퍼 처리 기계는 더 빠른 노출을 위해 웨이퍼의 양면을 빠르게 처리합니다. I6에는 더 높은 정확도를 위해 고급 웨이퍼 정렬 도구가 장착되어 있습니다. 고급 정렬 에셋 (Advanced Alignment Asset) 을 사용하면 노출 도구에 대한 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있으므로 정확도가 높고 수율이 향상됩니다. 또한 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 에는 고급 레이어 교정 컨트롤이 있어 노출이 정확하고 정확한지 확인합니다. 고급 챔버 온도 제어는 또한 열 변화를 줄이는 데 도움이됩니다. NIKON I6은 최고의 성능과 제품 수율을 보장하는 완벽한 도구입니다. 고급 기능과 뛰어난 광학 성능을 갖춘 I6 는 비용을 대폭 절감하는 동시에 마이크로 리토그래피 (micro-lithography) 프로세스의 전반적인 충실도 (fidelity) 를 높일 수 있습니다.