판매용 중고 NIKON i204 #9229245

NIKON i204는 사용이 간편한 패키지에서 처리량을 극대화할 수 있도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 8 초 정렬 시간, 높은 명암비 감지 장비 및 ASSS (Automated Substrate Selection System) 를 갖춘 고급 정렬 기술이 특징입니다. I204에는 고도로 구성 가능한 4 단계 매핑 장치 (Mapping Unit) 가 장착되어 있어 기판의 오버레이가 균일하며 패턴 배치 정확도가 높아집니다. 최대 가속 18m/s2 (18m/s2) 로, 크고 작은 기판을 모두 처리 할 때 높은 처리량을 허용합니다. 기계의 웨이퍼 용량은 150mm 및 200mm 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 스테이지 (stage) 는 최대 안정성을 위해 큰 프레임에 장착되어 있어, 도구가 우수한 온도 성능을 제공하고 처리 속도를 높입니다. NIKON i204 는 높은 처리량을 제공하여 비용을 절감하는 한편, 매우 정확한 성능을 제공합니다. 자산은 독점적 인 고급 스캐닝 (scanning) 기술을 사용하여 패턴과 미세한 결함을 정확하게 감지합니다. 최대 필드 크기는 28mm이며, 각 모델은 해상도가 0.4발로 낮아질 수 있습니다. 이 장비는 독점 NIKON Application System (NAS) 소프트웨어를 사용하여 전체 광 장치를 제어합니다. 이 시스템은 최대 8 개의 다른 작업을 저장할 수 있으며, 향후 업그레이드로 업데이트할 수 있습니다. 정렬, 확대/축소 및 레이어 두께를 수동으로 조정할 수 있습니다. I204는 노출 때마다 레티클을 자동으로 청소하여 시간을 절약할 수 있습니다. 이 도구 는 사격 중 온도 변화 를 보충 할 수 있는 도구 와, 오염 을 줄이기 위한 "가스 '정화 도구 를 가지고 있다. NIKON i204 는 최첨단 스테퍼 자산으로, 생산성이 높은 모델에서 매우 정확한 성능을 제공합니다. 탁월한 정렬 기능, 뛰어난 패턴 인식 기능, 최대 200mm 기판 처리 기능 등을 제공합니다. 즉, 성능 향상을 위해 다양한 옵션을 사용할 수 있으며, 유지 보수 다운타임을 줄여주는 "클리닝 '(cleaning) 툴이 내장되어 있습니다.