판매용 중고 NIKON i14 #9036216

NIKON i14 (NIKON i14) 는 마이크로 가공을 위해 웨이퍼에 정확하게 형성된 부품을 제작하는 데 사용되는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 고도의 반복성과 균일성을 갖춘 고효율 배치 (Hi-efficient Batch) 생산에 의존하고 있습니다. 최대 14 인치까지 대형 기판을 처리 할 수 있으며 최대 24 인치 기판에서 리소그래피를 사용할 수 있습니다. NIKON I 14는 다중 노출 기능을 사용하여 여러 수준의 정밀도를 가진 부품을 생산할 수 있습니다. 나노 스케일 (nanoscale) 기하학을 생산하기 위해 높은 정밀도로 노출 용량을 0.01 m ² 까지 제어하는 기능이 있습니다. 또한, i14는 리토 그래피 동안 노출 필드를 역전시키기 위해 트리거 할 수있는 자동 역전 (auto-reverse) 모드를 갖습니다. 복잡한 다중 레벨 리소그래피 패턴을 다룰 때 귀중한 기능입니다. I 14 는 고해상도를 위해 스핀시프트 (spin-shift) 기능과 결합된 근거리 광학을 통합하여 고해상도 이미징 기능을 제공합니다. 스핀 시프트 리소그래피에 대한 빠른 동시 정렬을 생성 할 수 있습니다. 또한 스핀 시프트 (spin-shift) 기능을 통해 광학 및 LCD 제조를 위한 옵토 전자 부품에서 복잡한 기능을 생산할 수 있습니다. 이 장비에는 고속 6 축 로봇이 있으며, 제한된 공간에서 정확하고 정확하게 움직일 수 있습니다. "웨이퍼 '를 안전 하고 안정 된 방법 으로 위치 를 정할 수 있는" 리프팅' 단계 가 포함 된다. 이 시스템에는 0.1 초의 정확도에 맞춰 정렬 할 수있는 비전 유닛 (vision unit) 도 제공됩니다. 이 기계는 효율적인 공랭식 (air-cooling) 기능을 갖추고 있어 스테퍼의 안정적인 작동을 보장하고 오염의 위험을 줄일 수 있습니다. 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 를 사용하여 스테퍼의 정확도와 실행 시간을 제어할 수 있습니다. 이러한 강력한 기능을 통해, NIKON i14는 다양한 제작 프로세스에 신뢰할 수 있는 자산입니다.